Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten

Status
Offen
Angebotsfrist
09.12.2026, 13:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Wert
Nicht angegeben
Lose
1
Erfüllungsregion
Berlin, Deutschland
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Aufruf
Auftragsart
Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
Veröffentlicht
10.11.2026
CPV-Codes
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  • Halbleiter (31712330)
  • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (42900000)
Bekanntmachungsnummer
781351-2026
Verfahrensnummer
6c2fb017-9a9b-4083-b7b4-375d5975307d

Fragenkatalog

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Kurzbeschreibung

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage zur Herstellung von Indium-Lotschichten. Die Angebotsfrist endet am 9. Dezember 2026; als Auftragsdauer sind 1.440 Tage angegeben.

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Leistungsbeschreibung

Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0000 · Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten

    Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten

Anforderungen an deinen Betrieb

Siehe Ausschreibungsunetralgen

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0000 · Lieferung einer Elektronenstrahl-Bedampfungsanlage für Indium-Lotschichten

Realisierung von Indium Bedampfungsprozessen mit einer Abscheiderate von mindestens 80 Å/s
20 %
Prozessbewertung zur verlässlichen SchichtdickenmessungNachzuweisen
20 %
ntegrationsaufwand & Flexibilität
20 %
Preiskomponente Nr. 1 Preis Lieferung Gerät (32%), Preiskomponente Nr. 2 Optionen: 2.1 Schwingquarz-Messsystem mit mehr als zwei Schwingquarzen (2%), 2.2 SECS-GEM-Interface zur Einbindung in ein MES System (2%); 2.3 Eine statistische Prozesskontrolle (SPC) (2%), 2.4Zusätzliches Bedampfungs- oder Temperierkonzept (2%)
40 %

Vergabeunterlagen

9 Dateien laut Portal · Stand 10.11.2026
235_Verzeichnis_Unternehmerleistungen.pdfSonstiges623 KB
236_Verpflichtungserklaerung.pdfFormular626 KB
631_EU_Aufforderung_zur_Abgabe_eines_Angebots_EU.pdfAnschreiben183 KB
634_Besondere_Vertragsbedingungen.pdfVertragsbedingungen75 KB
635_ZVB.pdfSonstiges73 KB
Abfrage_KRG.pdfSonstiges132 KB
Anti_corruption_Reg.pdfSonstiges642 KB
FBH Indium Depositum Teilnahmeunterlagen.zipAnschreiben2,2 MB
Leistungsverzeichnis.pdfLVLeistungsverzeichnis5 KB

Anforderungen

Siehe Ausschreibungsunetralgen

Änderungen und Bieterfragen

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