Beschaffung von Bonder- und Coater-Systemen inklusive Hotplate und Coolplate
Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines Bonder- und Coater-Systems inklusive Hotplate- und Coolplate-Einheiten aus. Der Auftrag umfasst die Bereitstellung der Hardware sowie diverse technische Optionen zur Prozesssteuerung und Überwachung. Die Lieferung ist für den Standort Dresden (NUTS DED21) vorgesehen.
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Bonder & Coater incl. Hotplate/Coolplate (IPMS-MRS13.1 & IPMS-MRS13.4)
Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht für ihre Forschungseinrichtungen einen Anbieter für spezialisierte Labor- und Fertigungstechnik, konkret ein System bestehend aus einem Bonder und einem Coater inklusive Heiz- und Kühlplatten. Diese Geräte werden in der Halbleiter- oder Mikrosystemtechnik eingesetzt, um Schichten auf Wafer aufzubringen und diese zu verbinden. Der Auftrag beinhaltet neben der Grundausstattung auch verschiedene technische Erweiterungsoptionen, wie etwa eine SECS-GEM-Schnittstelle zur automatisierten Anlagensteuerung und spezielle Sensoren für die Prozessüberwachung. Die Laufzeit für die Bereitstellung ist auf 360 Tage angesetzt.
Aufteilung in Lose
1 Lot1 Stück - Coater incl. Hotplate/Coolplate 1 Stück - Bonder Option 1 (LV Pos. 1.20) - Extended Warranty (24 months) Option 2 (LV Pos. 4.6) - The system can be controlled using SECS-GEM commands Option 3 (LV Pos. 5.1.9) - drain tank equipped with filling level sensor Option 4 (LV Pos. 5.1.13) - equipped with cover for coat module Option 5 (LV Pos. 5.6.11) - programmable exhaust controller Option 6 (LV Pos. 6.1.13) - adjustable pressurelevel in chamber Option 7 (LV Pos. 6.2.2) - pressure accuracy chamber
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality65%
Technische Ausführung
- price35%
Preis
Zeitplan
- 27. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert