Vergabeentscheid
Zuschlag erteilt
Auftragsgewinner: Canon Europa N.V.
Auftragswert
unbekannt
Zuschlag am
23. Juni 2026
Beschaffung eines iLine-Steppers für Forschungszwecke
Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung eines iLine-Steppers für den Standort Chemnitz aus. Es handelt sich um eine Einzelbeschaffung eines hochspezialisierten Geräts für die Halbleiterfertigung. Das Verfahren wird im Verhandlungsverfahren durchgeführt.
Vollständige Beschreibung anzeigen
iLineStepper (ENAS-02.1)
Die Fraunhofer-Gesellschaft sucht einen spezialisierten iLine-Stepper für ihre Forschungseinrichtung in Chemnitz. Ein iLine-Stepper ist ein hochpräzises Gerät, das in der Halbleiterindustrie verwendet wird, um Strukturen mittels Licht auf Wafer zu übertragen. Da es sich um eine Einzelbeschaffung handelt, liegt der Fokus bei der Auswahl neben dem Preis vor allem auf der technischen Leistungsfähigkeit und Nachhaltigkeitsaspekten. Das Gerät ist für den Einsatz im Bereich der Mikrosystemtechnik vorgesehen.
Aufteilung in Lose
1 Lot1 pc. iLineStepper
Zuschlagskriterien
3 Kriterien- quality10%
Nachhaltigkeit
- quality55%
Technische Ausführung
- price35%
Preis
Zeitplan
- 25. Juni 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 23. Juni 2026Zuschlag erteiltZuschlag an Canon Europa N.V.