Beschaffung einer XeF2-Trockenätzanlage
Was wird ausgeschrieben
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) schreibt die Lieferung einer XeF2-Trockenätzanlage aus. Es handelt sich um ein spezialisiertes Laborgerät für Ätzprozesse in der Halbleiter- oder Mikrosystemtechnik. Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren.
Vollständige Beschreibung anzeigen
Lieferung eines Gerätesystems gemäß beigefügter Leistungsbeschreibung
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft beschafft eine XeF2-Trockenätzanlage, ein hochspezialisiertes Gerät, das in der Forschung für präzise Ätzvorgänge, beispielsweise in der Mikrosystemtechnik, eingesetzt wird. Das Gerät muss gemäß der beigefügten technischen Leistungsbeschreibung geliefert werden. Die Entscheidung über den Zuschlag erfolgt zu gleichen Teilen auf Basis des Preises und der technischen Qualität des Angebots. Da keine expliziten finanziellen Angaben vorliegen, basiert die Schätzung auf marktüblichen Preisen für vergleichbare Labor-Ätzsysteme im wissenschaftlichen Bereich.
Zentrale Anforderungen
1 Punkte- Nachweis über das Nichtvorliegen von Insolvenzverfahren
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen.
Eignungskriterien (Volltext)
insolvency Gemäß der gesetzlichen Bedingungen können Unterlagen nachgefordert werden.
Aufteilung in Lose
1 LotLieferung eines Gerätesystems gemäß beigefügter Leistungsbeschreibung
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality50%
technischer Wert
- price50%
Preis
Zeitplan
- 29. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 30. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung