Beschaffung einer Laserlithographie-Anlage für Reinraumprozesse
Was wird ausgeschrieben
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) schreibt die Lieferung einer Laserlithographie-Anlage zur Mikrostrukturierung aus. Die Anlage wird in einem Reinraum an der Universität Ulm für die Herstellung von Quantensystemen eingesetzt. Der Auftrag umfasst die spezifizierte Anlage ohne Peripheriegeräte.
Vollständige Beschreibung anzeigen
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) sucht einen Anbieter für eine Laserlithographie-Anlage, die in einem Reinraum an der Universität Ulm installiert werden soll. Diese Anlage ist Teil einer Prozesskette zur Herstellung von Quantenchips und wird für die hochauflösende Strukturierung von Substraten sowie die Erstellung von UV-Lithographiemasken benötigt. Der Auftrag beschränkt sich auf das Hauptgerät, während die notwendige Infrastruktur und Medien vom DLR bereitgestellt werden. Das Projekt unterstützt die Forschung an Quantentechnologien wie Dampfzellen und Quantenspeichern.
Zentrale Anforderungen
1 Punkte- Einhaltung der Ausschlussgründe gemäß §§ 123 und 124 GWB
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen.
Eignungskriterien (Volltext)
Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB. Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.
Aufteilung in Lose
1 LotFür die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- price
Preis 50%
- quality
Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%
Zeitplan
- 3. Juli 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 3. Aug. 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung