Beschaffung einer generalüberholten Trockenätzkammer
Was wird ausgeschrieben
Die Fraunhofer-Gesellschaft schreibt die Lieferung einer generalüberholten Trockenätzkammer für den Standort Itzehoe aus. Es handelt sich um ein einzelnes Los mit einer Projektlaufzeit von 480 Tagen. Die Beschaffung wird durch EU-Mittel gefördert.
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Refurbished dry etch chamber (ISIT-05.2)
Das Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) sucht eine generalüberholte Trockenätzkammer, ein hochspezialisiertes Gerät für die Halbleiterfertigung. Da das Gerät generalüberholt sein soll, liegt der Fokus auf der technischen Aufbereitung und Funktionsfähigkeit gebrauchter Anlagen für Forschungszwecke. Die Lieferung ist für den Standort Itzehoe in Schleswig-Holstein vorgesehen und umfasst einen Zeitraum von etwa 16 Monaten. Da es sich um ein einzelnes Los handelt, richtet sich die Ausschreibung an spezialisierte Anbieter von Labor- und Halbleiter-Equipment.
Zentrale Anforderungen
2 Punkte- Einhaltung der nationalen Ausschlussgründe
- Eignung gemäß Vergabeunterlagen
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen. Verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. Siehe Vergabeunterlagen
Aufteilung in Lose
1 Lot1 pc. Refurbished dry etch chamber
Zeitplan
- 20. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 19. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung