Berührungsloses Laserscanning-Mikroskop zur 3D-Vermessung von Waferoberflächen

a) Art und Umfang der Leistung: Um Oberflächen-Topologien, -Topographien und -Rauigkeiten sowie Profile im Mikrometer- und Submikrometerbereich auf Wafern von 2" bis zu 200 mm Durchmesser zu vermessen, wird ein Gerät zur berührungslosen Aufnahme von 3D-Oberflächenprofilen benötigt. b) Bekanntmachung Vergabenr.: FBH-2026-0028 Name und Anschrift: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik / Gustav-Kirchhoff-Straße 4 / 12489 Berlin / Deutschland Telefonnummer Telefaxnummer E-Mail-Adresse Internet-Adresse: http://www.fbh-berlin.de Zuschlagserteilende Stelle: Siehe oben Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung elektronisch in Textform elektronisch mit fortgeschrittener Signatur elektronisch mit qualifizierter Signatur Anschrift zur Einreichung schriftlicher Angebote: -ENTFÄLLT- (es sind ausschließlich elektronische Angebote zugelassen) Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen (§ 29 Abs. 3 UVgO) Art der Leistung: Um Oberflächen-Topologien, -Topographien und -Rauigkeiten sowie Profile im Mikrometer- und Submikrometerbereich auf Wafern von 2" bis zu 200 mm Durchmesser zu vermessen, wird ein Gerät zur berührungslosen Aufnahme von 3D-Oberflächenprofilen benötigt. Menge und Umfang: 1 Stück Ort der Leistung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik Losweise Vergabe: Nein Angebote sind möglich für: die Gesamtleistung nicht zugelassen Beginn der Ausführungsfrist Ende der Ausführungsfrist Bemerkung zur Ausführungsfrist unter (URL:): https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1a065f137f2-2023af84c6ecac50 Weitere Auskünfte erteilen/erteilt: Siehe oben Stelle zur Anforderung der Vergabeunterlagen: Siehe oben Siehe oben Angebote sind einzureichen bis: 26.10.2026 10:00 Ablauf der Bindefrist: 11.01.2027 : BVB und ZVB des FBH : Bietererklärung zur Eignung ab 1000 Euro; Abfrage §6 KRG; Erklärung Frauenförderverordnung FFV ab 25.000 Euro brutto Der niedrigste Preis: Nein Wirtschaftlich günstigstes Angebot in Bezug auf die nachstehenden Kriterien: 1 Preis (40%), 2 Technische Eigenschaften, Softwareausstattung und Bedienkomfort (40%), 3 Verfügbarkeit sowie Preis von Optionen und Service (20%)