LOT 1 08Si725SSP
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 2000 | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 200 mm Si Wafer 725 µm ssp | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 200 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max. ± 0.3 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Grade | Prime | F | ||||
| 4 | Growth | CZ | F | ||||
| 5 | Type | P | F | ||||
| 6 | Dopant | B | F | ||||
| 7 | Orientation [°] | <100> ± 0.5 | F | ||||
| 8 | Resistivity [Ohm-cm] | 1 … 50 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 9 | Thickness [µm] | 725 | F | ||||
| 10 | Thickness Tolerance [µm] | max. ±25 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 11 | surface Finish | single side polished, rounded edges | F | ||||
| 12 | Notch | Semi Standard @<110> ± 0.1° | F | ||||
| 13 | Lasermark | none | F | ||||
| 14 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 15 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 16 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 17 | Particles @ 0.2 µm | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 18 | Residual amount of foreign elements (e.g. Fe, Zn, …) | < 1*10-10 at/cm2; please provide exact details | B | 10 | |||
| 19 | quantity | 2000 | F | ||||
| 20 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 21 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| 22 | delivery | Partial shipments are possible for at least 200 pieces | I | ||||
| 23 | delivery | Complete delivery by Dec. 18, 2026, at the latest | F | ||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 2 08Si725DSP
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 800 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 200 mm Si Wafer 725 µm DSP | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 200 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max.± 0.3 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Grade | Prime | F | ||||
| 4 | Growth | CZ | F | ||||
| 5 | Type | P | F | ||||
| 6 | Dopant | B | F | ||||
| 7 | Orientation [°] | <100> ± 0.5° | F | ||||
| 8 | Resistivity [Ohm-cm] | 1 … 50 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 9 | Thickness [µm] | 725 | F | ||||
| 10 | Thickness Tolerance [µm] | 25 | B | 10 | |||
| 11 | surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 12 | Notch | Semi Standard @<110> ± 0.1° | F | ||||
| 13 | Lasermark | none | F | ||||
| 14 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 15 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 16 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 17 | Particles @ 0.2 µm | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 18 | Residual amount of foreign elements (e.g. Fe, Zn, …) | < 1*10-10 at/cm2; please provide exact details | B | 10 | |||
| 19 | quantity | 800 | F | ||||
| 20 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 21 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| 22 | delivery | Partial shipments are possible for at least 200 pieces | I | ||||
| 23 | delivery | Complete delivery by Dec. 18, 2026, at the latest | F | ||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 3 08Si550DSP
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 200 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 200 mm Si Wafer 550 µm DSP | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 200 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max. ±0.3 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Grade | Prime | F | ||||
| 4 | Growth | CZ | F | ||||
| 5 | Type | P | F | ||||
| 6 | Dopant | B | F | ||||
| 7 | Orientation [°] | <100> ± 0.5 | F | ||||
| 8 | Resistivity [Ohm-cm] | 1 … 50 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 9 | Thickness [µm] | 550 | F | ||||
| 10 | Thickness Tolerance [µm] | max. ±25 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 11 | surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 12 | Notch | Semi Standard @<110> ± 0.1° | F | ||||
| 13 | Lasermark | none | F | ||||
| 14 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 15 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 16 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 17 | Particles @ 0.2 µm | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 18 | Residual amount of foreign elements (e.g. Fe, Zn, …) | < 1*10-10 at/cm2; please provide exact details | B | 10 | |||
| 19 | quantity | 200 | F | ||||
| 20 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 21 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 4 06Si400DSP
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 200 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 150 mm Si Wafer 400 µm DSP | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 150 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max. ± 0.3 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Grade | Prime | F | ||||
| 4 | Growth | CZ | F | ||||
| 5 | Type | P | F | ||||
| 6 | Dopant | B | F | ||||
| 7 | Orientation [°] | <100> ± 0.5 | F | ||||
| 8 | Resistivity [Ohm-cm] | 10…20 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 9 | Thickness [µm] | 400 | F | ||||
| 10 | Thickness Tolerance [µm] | max. ± 10 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 11 | surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 12 | Flats | 1 Primary Flat SEMI Standard | F | ||||
| 13 | Lasermark | none | F | ||||
| 14 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 15 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 16 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 17 | Particles @ 0.2 µm | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 18 | Residual amount of foreign elements (e.g. Fe, Zn, …) | < 1*10-10 at/cm2; please provide exact details | B | 10 | |||
| 19 | quantity | 200 | F | ||||
| 20 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 21 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 5 08GLS500BF33
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 300 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 200 mm Glas Wafer BF33 | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 200 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max.± 0.3 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Material | borosilicate glass (e.g. Borofloat 33), anodic bondable, CTE adapted to silicon | F | ||||
| 4 | Thickness [µm] | 500 | F | ||||
| 5 | Thickness Tolerance [µm] | ± 10 (precise details requested) | B | 25 | |||
| 6 | Surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 7 | Surface Roughness [nm] | Ra ≤ 0.5 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 8 | Notch | 1 Primary Flat SEMI Standard | F | ||||
| 9 | Lasermark | none | F | ||||
| 10 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 25 | |||
| 11 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 12 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 13 | Particles @ 0.3 µm | < 20 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 14 | quantity | 300 | F | ||||
| 15 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 16 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 6 08GLS500AF32
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 300 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 200 mm Glas Wafer AF32 | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 200 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max. ± 0.3 or smaller | B | 10 | |||
| 3 | Material | AF32eco glass or other alkali free glass with CTE adapted to silicon | F | ||||
| 4 | Thickness [µm] | 500 | F | ||||
| 5 | Thickness Tolerance [µm] | ± 10 (precise details requested) | B | 25 | |||
| 6 | Surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 7 | Surface Roughness [nm] | Ra ≤ 0.5 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 8 | Notch | 1 Primary Flat SEMI Standard | F | ||||
| 9 | Lasermark | none | F | ||||
| 10 | Flatness (TTV) [µm] | < 10 (precise details requested) | B | 25 | |||
| 11 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 12 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 13 | Particles @ 0.3 µm | < 20 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 14 | quantity | 300 | F | ||||
| 15 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 16 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 7 06GLS500BF33
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 300 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 150 mm Glas Wafer BF33 | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 150 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max. ± 0.3 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Material | borosilicate glass (e.g. Borofloat 33), anodic bondable, CTE adapted to silicon | F | ||||
| 4 | Thickness [µm] | 500 | F | ||||
| 5 | Thickness Tolerance [µm] | ± 10 (precise details requested) | B | 25 | |||
| 6 | Surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 7 | Surface Roughness [nm] | Ra ≤ 0.5 | B | 10 | |||
| 8 | Notch | 1 Primary Flat SEMI Standard | F | ||||
| 9 | Lasermark | none | F | ||||
| 10 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 25 | |||
| 11 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 12 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 13 | Particles @ 0.3 µm | < 20 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 14 | quantity | 300 | F | ||||
| 15 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 16 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 8 06SOID4.6BOX2.1DSP
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 75 Stück | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 150 mm SOI Wafer | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Overall Diamater [mm] | 150 | F | ||||
| 2 | Overall Diameter Tolerance [mm] | max.± 0.3 or smaller (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Overall Surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 4 | Overall Flats | 1 Primary Flat SEMI Standard | F | ||||
| 5 | Overall Particles @ 0.2 µm | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 6 | Overall Residual amount of foreign elements (e.g. Fe, Zn, …) | < 1*10-10 at/cm2; please provide exact details | B | 10 | |||
| 7 | Device Layer/Wafer Type | P | F | ||||
| 8 | Device Layer/Wafer Dopant | B | F | ||||
| 9 | Device Layer/Wafer Orientation | <100> ± 0.5° | F | ||||
| 10 | Device Layer/Wafer Resitivity [Ohm-cm] | 1 … 50 smaller range rated better (precise details requested) | B | 10 | |||
| 11 | Device Layer/Wafer Thickness [µm] | 4.5 | F | ||||
| 12 | Thickness Olerance [µm] | ≤+ 0,5 or better (precise details requested) | B | 15 | |||
| 13 | Device Layer/Wafer TTV | at least ≤ 1µm or smaller (precise details requested) | B | 15 | |||
| 14 | BOX thickness [µm] | 2.1 | F | ||||
| 15 | BOX Thickness Tolerance | ≤± 10% or better (precise details requested) | B | 10 | |||
| 16 | Handle Layer/Wafer Type | P | F | ||||
| 17 | Handle Layer/Wafer Dopant | B | F | ||||
| 18 | Handle Layer/Wafer Orientation | <100> ± 0.5° | F | ||||
| 19 | Handle Layer/Wafer Resitivity [Ohm-cm] | 1 … 50 smaller range rated better (precise details requested) | B | 10 | |||
| 20 | Handle Layer/Wafer Thickness [µm] | 550 | F | ||||
| 21 | Thickness Tolerance [µm] | ≤± 10 smaller values rated better (precise details requested) | B | 10 | |||
| 22 | Handle Layer/Wafer Backside finsih | Oxid on backside | F | ||||
| 23 | quantity | 75 | F | ||||
| 24 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |
LOT 9 08Si(111)DSP
| Unnamed: 0 | LEISTUNGSVERZEICHNIS / Tender Specification | Unnamed: 2 | Unnamed: 3 | Unnamed: 4 | Unnamed: 5 | Unnamed: 6 | Unnamed: 7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Banf-Nummer/order request no.: | PR1268637 | ||||||
| Anzahl/quantity: | 150 | ||||||
| Auftragsgegenstand/order subject: | 200 mm Si Wafer <111> dsp | ||||||
| KURZE BESCHREIBUNG DER LEISTUNG/ BRIEF SERVICE DESCRIPTION: | |||||||
| Beschaffung von Si-Wafern mit unterschiedlichen Eigenschaften als auch Glaswafern. Ausschreibung erfolgt in Losen. Es kann auf ein als auch auf mehrere Lose geboten werden. | |||||||
| Legende Kriterien/legend criteria | |||||||
| B | Bewertung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem B gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Evaluation: The positions of service specification marked with B are used to evaluate individual criteria. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| F | Forderung: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem F gekennzeichnet sind, müssen zwingend erfüllt werden. Das bedeutet für den Bieter, dass im Angebot dazu Angaben zu erstellen sind. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Requirement: The positions of service specification marked with F must be fulfilled. The information must be provided in the offer. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| O | Option: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem O gekennzeichnet sind, dienen ebenfalls der Bewertung einzelner Kriterien. Die maximal erreichbare Punktzahl für das einzelne Kriterium ist in Spalte G aufgelistet. Optionen müssen vom Bieter angeboten werden, ein nicht-Anbieten von Optionen führt jedoch nicht zum Ausschluss, der Bieter bekommt 0 Punkte für diese Option in der Bewertung. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein. Option: The positions of service specification marked with O are used to evaluate individual criteria, too. The maximum achievable score for each criterion is listed in column G. Options must be offered by the tenderer. Not offering options does not result into exclusion, the bidder gets 0 points for this option in the rating. Options are included in the price rating. | ||||||
| I | Information: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem I gekennzeichnet sind, fließen nicht in die Wertung ein. Diese dienen der Übermittlung von Informationen. Diese Positionen müssen zwingend beachtet werden. Sie führen nicht zum Ausschluss. Information: The positions of service specification marked with I are not included in the evaluation. They are used for the transmission of information, which must be observed and do not result in exclusion. | ||||||
| N | Nachhaltigkeit: Leistungsverzeichnispositionen, die mit einem N gekennzeichnet sind, dienen der Bewertung der Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium. Eine Nichterfüllung oder keine Angaben führen zum sofortigen Ausschluss. Sustainability: The positions of service specification marked with an N are used to assess sustainability as an award criteria. Non-compliance or no information will result in immediate exclusion. | ||||||
| LV Pos. / TS Pos. | TECHNISCHE BESCHREIBUNG - Hauptpunkt Technical description - main topic | Anforderungen an die jeweiligen Parameter What is needed - parameter | B/F/O/I/N | max. Punktzahl B-Kriterien max. total points B -criteria | vom Bieter auszufüllen / to be filled by tenderer | Verweis in Bieterdokument / Reference in tenderer document | |
| 1 | Diamater [mm] | 200 | F | ||||
| 2 | Diameter Tolerance [mm] | max. ± 0.3 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 3 | Grade | Prime | F | ||||
| 4 | Growth | CZ | F | ||||
| 5 | Type | P | F | ||||
| 6 | Dopant | B | F | ||||
| 7 | Orientation [°] | <111> ±1.0° | F | ||||
| 8 | Resistivity [Ohm-cm] | ≤ 0.005 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 9 | Thickness [µm] | 725 | F | ||||
| 10 | Thickness Tolerance [µm] | max. ±25 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 11 | surface Finish | double side polished, rounded edges | F | ||||
| 12 | Notch | Semi Standard @<110> ± 1.0° | F | ||||
| 13 | Lasermark | none | F | ||||
| 14 | Flatness (TTV) [µm] | < 5 (precise details requested) | B | 20 | |||
| 15 | Bow [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 16 | Warp [µm] | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 17 | Particles @ 0.2 µm and larger | < 30 (precise details requested) | B | 10 | |||
| 18 | Residual amount of foreign elements (e.g. Fe, Zn, …) | < 1*10-10 at/cm2; please provide exact details | B | 10 | |||
| 19 | quantity | 150 | F | ||||
| 20 | Documentation | Certificate of wafer parameters | F | ||||
| 21 | other parameters according to SEMI standard | F | |||||
| Delivery Time | Please specify your delivery time | I |