Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 02.07.2026
- CPV-Codes
- Mikroelektronische Maschinen und Geräte (31712100)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 455485-2026
- Verfahrensnummer
- 019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf
Fragenkatalog
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Kurzbeschreibung
Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. schreibt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage aus. Das System dient der hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen eines offenen Verfahrens.
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Leistungsbeschreibung
Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
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Vergabeunterlagen
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