Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für Metallbeschichtung
Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft eine Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage (Evaporation System) für das Fraunhofer IAF. Die Anlage dient der Metallbeschichtung von 150-mm-Wafern und ist als wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung im vertikalen und schrägen Winkel (Substrat um 45 Grad geneigt) konzipiert. Die Lieferzeit beträgt 210 Tage.
Vollständige Beschreibung anzeigen
Evaporation System (IAF-06.1)
- Nachweis der Erfüllung aller nationalen Ausschlussgründe
- Eignung für Lieferung hochwertiger Forschungsgeräte
- Technische Kompetenz im Bereich Vakuumbeschichtungstechnologie
KI-zusammengefasst aus den offiziellen Eignungsanforderungen — verbindlich ist der Originaltext unten.
Eignungskriterien (Volltext)
Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply. Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents
1 Evaporation System Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung einer Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für die Metallbeschichtung. Die Anlage soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Es handelt sich um eine wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung im vertikalen und schrägen Winkel (Substrat um 45 Grad geneigt).
- 65%quality
Technik
- 35%price
Preis
- 8. Mai 2026Bekanntmachung veröffentlichtAuf TED publiziert
- 8. Juni 2026EinreichungsfristElektronische Einreichung