Markterkundung für zehn Mikroelektronik-Forschungsgeräte in Málaga

El presente lote tiene por objeto recabar información técnica, funcional y económica del mercado para la definición de una futura contratación destinada al suministro, instalación, puesta en marcha, mantenimiento y soporte de diez equipos de investigación en microelectrónica para el Centro de Semiconductores de Málaga. Los equipos incluidos en esta consulta son los siguientes: • Cu Electroplate Tool. • BEOL Metal Cu TSV Deposition Tool. • Blanket Silicon Etch Cluster. • Sheet Resistance Measurement Tool. • Wafer Geometry Measurement Tool. • Scatterometry Overlay Measurement Tool. • Wafer Grinding & CMP Tool. • DUV Photo Track Tool. • Lithography i-line Scanner Tool. • X-SEM Measurement Tool. La información solicitada permitirá identificar soluciones disponibles en el mercado, prestaciones técnicas, configuraciones posibles, requisitos de integración con sala blanca de 300 mm y sistemas de automatización, plazos de suministro, servicios asociados y estimaciones económicas, con el fin de preparar una futura licitación en condiciones de máxima concurrencia y eficiencia.