Optisches Mess- und Inspektionssystem für die BEOL-Halbleiterfertigung
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Imec EU Pilot line NV
- Erfüllungsregion
- Belgien
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 03.11.2026
- CPV-Codes
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 761549-2026
- Verfahrensnummer
- c06af51e-faa4-460c-8941-26eb796e1477
Fragenkatalog
Deine Fragen an die Ausschreibung, beantwortet aus Bekanntmachung und Unterlagen.
Kurzbeschreibung
Imec EU Pilot line NV in Heverlee, Belgien, schreibt ein optisches Mess- und Inspektionssystem für BEOL aus. BEOL steht für „Back End of Line“ und bezeichnet die nachgelagerten Prozessschritte der Halbleiterfertigung; Angaben zu Umfang oder Zeitrahmen sind nicht enthalten.
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Leistungsbeschreibung
Optical metrology & inspection tool for BEOL
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · JPA2025ID42 - 1
Optical metrology & inspection tool for BEOL
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0001 · JPA2025ID42 - 1
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Vergabeunterlagen
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