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Leistungsbeschreibung Lieferung eines vollautomatischen Drahtbonders

Vergabenummer IHP-2026-042

Auftraggeber: IHP GmbH – Leibniz Institute for High Performance Microelectronics/ Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

1. Leistungsgegenstand

Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie Einweisung in die Bedienung eines fabrikneuen, vollautomatischen Drahtbonders für den Einsatz in Forschung und Entwicklung.

Das anzubietende System muss für die Durchführung von Wedge-Wedge- und Ball-Wedge- Bondprozessen ausgelegt sein und eine hochpräzise sowie reproduzierbare Verarbeitung von Aluminium- und Golddrähten mit Drahtdurchmessern von 12,5 bis 32 µm sowie von Goldbändchen mit Breiten von 35 bis 50 µm ermöglichen.

Das System muss über eine vollautomatische Bilderkennung, eine Echtzeit-Prozessüberwachung sowie eine programmierbare Loop-Geometrie verfügen. Es muss für den kontinuierlichen Betrieb in einer Forschungsumgebung mit hohen Anforderungen an Präzision, Prozessstabilität, Dokumentation und Reproduzierbarkeit geeignet sein.

Das anzubietende System muss für einen sicheren Betrieb in Labor- und Entwicklungsumgebungen ausgelegt sein.

2. Technische Spezifikation

• Wedge-Wedge- und Ball-Wedge-Bondverfahren • Kontrollierte Loopbildung für Ball-Wedge- und Wedge-Wedge-Bondprozesse mit definierter Drahtspannung während der gesamten Loopbewegung • Das System muss für einen zukünftigen Inline-Betrieb geeignet sein und die Integration in automatisierte Fertigungsumgebungen ermöglichen • Der Bondprozess muss auf einer schwingungsentkoppelten und mechanisch stabilen Plattform ausgeführt werden, um externe und interne Vibrationseinflüsse zu minimieren • Schneller Bondkopftausch möglich • Achsgenauigkeit ≤ 2 µm • Aufnahme für Drahtspulen der Größen 2“ x 1“ und 2“ x 2“ • Verarbeitung von Draht: Al, Au (12,5–32 µm), • Bändchen: Au (35–50 µm x 13 µm) • Kamerasystem zur optischen Darstellung von Wedge, Drahtführung und Drahtklammer

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• Bondkraft-Kalibrier Station und Wedge-Kalibrierung • Echtzeit-Prozessüberwachung von Drahtverformung, Bondkraft und Ultraschall • Kamera für Live-Bond-Aufnahme • Software: Bedienoberfläche deutsch/englisch • Maximale Geräteabmessungen (B x T x H): 800 x 1600 x 2000 mm • Maximales Gerätegewicht: 1500 kg

• Bondtisch • Bondtisch, höhenverstellbar • Arbeitsbereich mind. 300 x 400 mm • Einstellbare Vakuumkreise wünschenswert* • Mind. Temperatur 180°C

Der Bieter hat vorhandene einstellbare Vakuumkreise hinsichtlich Anzahl und Ausführung im Angebot zu * beschreiben. Das Vorhandensein einstellbarer Vakuumkreise ist keine Mindestanforderung. Die Angabe dient ausschließlich der technischen Information und wird weder als Zuschlagskriterium noch bei der technischen Bewertung berücksichtigt.

• Ball-Wedge-Bondverfahren • Einsatz von 11 mm und 19 mm Bondkapillaren ohne Bondkopfwechsel möglich • Z-Achsen-Hub von mind. 30 mm • Maximale Bondkopf-Zugänglichkeit (Immersion Depth) mind. 13 mm • Ultraschall in Vorzugsrichtung durch drehbaren Bondkopf • Erzeugung von Gold-Stud-Bumps mittels ultraschallunterstütztem Scherprozess • Das System muss die Herstellung und anschließende Planarisierung von Stud-Bumps mittels In-situ-Coining ohne Wechsel der Bondkapillare ermöglichen • Doppelfrequenz-Transducer 120 und 60 kHz

• Wedge-Wedge-Bondverfahren • Wedge-Wedge-Bondkopf mit 45°- Ausrichtung • Wedge-Wedge-Bondkopf mit 90°- Ausrichtung, Deep Access • programmierbarer Drahtvorschub, Taillänge, Abrisshub und Öffnung der Drahtklammer • Transducer Bondfrequenz 100 kHz

Lieferung inklusive:

• Vollständige Installation, Inbetriebnahme und Kurzeinweisung • Mindestgarantie: 12 Monate • Wartungs- und Serviceangebot sowie Ersatzteilversorgung für mindestens 10 Jahre • Dokumentation: Bedienungsanleitung, Wartungsanleitung in deutscher Sprache • Reaktionszeit für Vor-Ort-Service: spätestens vier Werktage nach Störungsmeldung.

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3. Liefer-/Leistungsort

Liefer-/Leistungsort ist: IHP GmbH, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder)

4. Lieferfrist (vom Bieter anzugeben!)

Lieferfrist: _______________________________

Sofern nicht anders vereinbart, gelten die angegebenen Fristen als verbindlich.

5. Preisangaben (vom Bieter auszufüllen)

Detaillierte Preisaufstellung Der Bieter hat zusätzlich zur Preisangabe gemäß Ziffer 5 eine detaillierte Aufstellung der angebotenen Lieferungen und Leistungen einzureichen.

Die detaillierte Aufstellung hat insbesondere die Preise für einzelne Komponenten, Zubehör, Software, Optionen, Dienstleistungen, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung, Wartung sowie sonstige im Angebot enthaltene Leistungen auszuweisen.

Für die Preiswertung gemäß Ziffer 6.1 ist ausschließlich der in Ziffer 5 ausgewiesene Gesamtpreis netto (Wertungspreis) maßgeblich.

Die detaillierte Preisaufstellung dient ausschließlich der Information sowie der technischen und kaufmännischen Nachvollziehbarkeit des Angebots. Einzelpreise und Preise optionaler bzw. zusätzlicher Leistungen werden nicht gesondert gewertet, sofern in den Vergabeunterlagen nicht ausdrücklich etwas anderes bestimmt ist.

Die detaillierte Preisaufstellung darf dem in Ziffer 5 angegebenen Gesamtpreis nicht widersprechen.

Der in Ziffer 5 ausgewiesene Gesamtpreis netto umfasst sämtliche zur vollständigen Erbringung der ausgeschriebenen Leistung erforderlichen Lieferungen und Leistungen. Dieser Gesamtpreis ist der für die Preiswertung gemäß Ziffer 6.1 maßgebliche Wertungspreis.

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6. Zuschlagskriterien

Der Zuschlag wird auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt.

Die Bewertung erfolgt nach folgenden Zuschlagskriterien: Kriterium Gewichtung Preis gemäß Ziffer 5. 50% Technische Bewertung 50%

6.1 Bewertung des Wertungspreises

Das Angebot mit dem niedrigsten Wertungspreis erhält die maximale Punktzahl von 50 Punkten. Die Punktzahl der übrigen Angebote wird nach folgender Formel berechnet:

Punkte Preis = (niedrigster Wertungspreis / Wertungspreis des Angebots) × 50

6.2 Technische Bewertung

Die technische Bewertung erfolgt anhand der in der Bewertungsmatrix festgelegten Unterkriterien: • Arbeitsbereich, • Eintauchtiefe, • Reaktionszeit Vor-Ort-Service, • Drahtspulenaufnahme.

Für die Erfüllung der jeweiligen Mindestanforderung werden die in der Bewertungsmatrix festgelegten Basispunkte vergeben. Sofern das Angebot über die jeweilige Mindestanforderung hinausgeht, können entsprechend der in der Bewertungsmatrix dargestellten Abstufungen zusätzliche Punkte für die Übererfüllung vergeben werden.

Die maximal erreichbare Punktzahl für die technische/technologische Bewertung beträgt 50 Punkte.

Die konkrete Punktevergabe erfolgt ausschließlich anhand der in der Bewertungsmatrix festgelegten Anforderungen und Bewertungsstufen. Maßgeblich sind die vom Bieter im Angebot verbindlich angegebenen technischen Eigenschaften und Leistungsmerkmale.

Die einzelnen Unterkriterien werden mit folgenden maximalen Punktzahlen gewichtet: Unterkriterium Maximal erreichbare Punktzahl Arbeitsbereich 15 Punkte Eintauchtiefe 10 Punkte Reaktionszeit Vor-Ort-Service 10 Punkte Drahtspulenaufnahme 15 Punkte Gesamt 50 Punkte

Die im Rahmen der technischen Bewertung erreichten Punkte werden unmittelbar als technische Bewertungspunkte in die Gesamtwertung übernommen. Bei vollständiger Erfüllung der jeweils maximal bewertbaren technischen Anforderung können somit maximal 50 technische Bewertungspunkte erreicht werden.

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6.3 Gesamtwertung

Die Gesamtpunktzahl ergibt sich aus der Summe der in den Kriterien Preis und Technische Bewertung erreichten Punkte.

Für den Wertungspreis können gemäß Ziffer 6.1 maximal 50 Punkte und für die technische Bewertung gemäß Ziffer 6.2 maximal 50 Punkte erreicht werden. Insgesamt können somit 100 Punkte erreicht werden.

Die Punkte werden auf zwei Nachkommastellen berechnet.

Den Zuschlag erhält das Angebot mit der höchsten Gesamtpunktzahl. Bei Punktgleichheit erhält das Angebot mit dem niedrigeren Wertungspreis den Zuschlag.

7. Angebotsbedingungen

• Die Angebotsabgabe erfolgt elektronisch in Textform gemäß §126b BGB. Eine handschriftliche Unterschrift ist nicht erforderlich.
• Mit Angebotsabgabe bestätigt der Bieter die Einhaltung sämtlicher Anforderungen dieser Leistungsbeschreibung.
• Änderungen oder Ergänzungen der Vergabeunterlagen durch den Bieter sind unzulässig und können zum Ausschluss des Angebots führen.
• Nebenangebote sind nicht zugelassen.
• Der Bieter ist bis zur in der Bekanntmachung angegebenen Zuschlagsfrist an sein Angebot gebunden.
• Nach Zuschlagserteilung wird ein Auftragsschreiben erstellt. Ein separater Vertrag wird nicht geschlossen.

Ort, Datum: _____________________________________

Name des Unternehmens / Bieter (Textform): __________________________________________

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