Elektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl für Materialbearbeitung und 3D-Analyse
- Status
- Vergeben
- Angebotsfrist
- Nicht angegeben
- Geschätzter Wert
- 1.300.000 EUR
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Niederlande
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 03.11.2026
- CPV-Codes
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- Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme (31712000)
- Bewertungs- und Testinstrumente (38900000)
- Bekanntmachung
- ted.europa.eu
- Bekanntmachungsnummer
- 763749-2026
- Verfahrensnummer
- f890e1f5-5236-4ee0-8a94-cd0b658c3492
Fragenkatalog
Deine Fragen an die Ausschreibung, beantwortet aus Bekanntmachung und Unterlagen.
Kurzbeschreibung
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek) in Den Haag schreibt laut Bekanntmachungsbeschreibung ein System aus Rasterelektronenmikroskop (SEM) und fokussiertem Ionenstrahl (FIB) aus, um Halbleiterschichten zu bearbeiten und dreidimensional sowie im Querschnitt zu untersuchen. Der geschätzte Auftragswert beträgt 1,3 Millionen Euro; als Dauer sind 1.440 Tage angegeben. Die Losbezeichnung und -beschreibung nennen abweichend ein Metall-Lift-off-System, sodass die Angaben zum Beschaffungsgegenstand widersprüchlich sind.
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Leistungsbeschreibung
The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van één SEM +FIB systeem
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · Metal Lift-Off System (TNO44)
Levering van een metal lift-off system Levering van één metal lift-off system
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0000 · Metal Lift-Off System (TNO44)
- TNO heeft alle relevante kwaliteitsaspecten volledig en objectief vastgelegd als minimumeisen. Hierdoor bestaat er geen ruimte voor kwalitatieve differentiatie tussen de inschrijvingen en kan de vergelijking derhalve op transparante wijze uitsluitend op basis van prijs plaatsvinden. Naar het oordeel van TNO is het hanteren van het gunningscriterium laagste prijs binnen deze aanbestedingsprocedure dan ook juridisch verdedigbaar en in overeenstemming met de beginselen van proportionaliteit, zorgvuldigheid en transp
- 100 %
Vergabeunterlagen
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