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Bewertungsmatrix Laserheizer Probenmanipulator 02.10.2026
Titel: Kontinuierlicher Laser zur schnellen thermischen Probenbehandlung direkt nach Ionenimplantation im UHV; inkl. System zur Probenmanipulation/Positionierung
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| Fa. A Angebotsnummer: | Fa. B | Angebotsnummer: | Fa. C Angebotsnummer: | |||||||||||
| Nr. | Bezeichnung | Beschreibung | erfüllt | nicht erfüllt | Kommentar | N/A4 | erfüllt2 | nicht erfüllt3 | Kommentar4 | N/A42 | erfüllt3 | nicht erfüllt4 | Kommentar5 | N/A46 |
| A01 | Normenkonformität und CE-Kennzeichnung | Das gesamte Laser-Heizsystem (einschließ-lich aller elektronischen, optischen und me-chanischen Komponenten) muss eine gültige CE-Kennzeichnung besitzen. Eine entspre-chende EU-Konformitätserklärung ist den Angebotsunterlagen beizufügen. | ||||||||||||
| A02 | Kompatibilität zur (neu konstruierten) Versuchskammer | Das angebotene Laser-Heizsystem und der zugehörige Probenmanipulator müssen so konstruiert und geliefert werden, dass sie an die finale Ausführung einer auf Basis der beigefügten vorläufigen Konstruktionszeichnung (Anlage1_Chamber_DN200CF_19.09-beta2.pdf) neu angefertigten Versuchskammer adaptierbar sind. Maßliche und funktionale Anpassungen (z. B. an Flanschbildern, Abmessungen, Anschlusspositionen) sind im üblichen Toleranzrahmen durch den Auftragnehmer ohne gesonderte Mehrkosten umzusetzen. Die aktuellen Ausführungsunterlagen werden dem Auftragnehmer nach Zuschlagserteilung rechtzeitig zur Verfügung gestellt. Erforderliche Detailabstimmungen sind in enger Kommunikation mit dem Auftraggeber durchzuführen. Nach Auftragserteilung sind größere, systemkritische Anpassungen an der Kammer selbst im Vorfeld mit dem Auftraggeber abzustimmen und von diesem zu genehmigen . | ||||||||||||
| A03 | Neugerät (Fabrikneu) | Bei der angebotenen Gesamtanlage inklusive aller Unterkomponenten (Laserquelle, Pyrometer, Manipulator, Software, Optiken und Steuerung) muss es sich zwingend um fabrikneue Ware aus aktueller Produktion handeln. | ||||||||||||
| A04 | Vakuumtauglichkeit und Eignung für Ionenimplantationskammer | Vakuumtauglichkeit und Eignung für Ionenimplantationskammer | ||||||||||||
| A05 | Wellenlänge des Lasers und minimale optische Ausgangsleistung | Die Wellenlänge des Lasers liegt im Bereich von 440 - 1080 nm. Die minimale optische Ausgangsleistung muss mindestens 70W betragen. | ||||||||||||
| A06 | Feinstufige Regelbarkeit der Laserleistung | Die optische Ausgangsleistung des Lasers muss zwingend in feinen Abstufungen (z. B. in Schritten von maximal 1 % der Nennleistung oder kleiner) kontinuierlich regelbar sein. | ||||||||||||
| A07 | Koaxiale Pyrometriemessung im Freistrahl | Die Temperaturerfassung am Ort des Heiz-Laserspots muss zwingend koaxial im Laser-spot erfolgen. Die Einkopplung des Lasers sowie die Auskopplung des Pyrometersignals müssen von außerhalb der Kammer über optische Fenster (Schaugläser) als Freistrahl realisiert werden. Es dürfen sich keine Licht-leitfasern innerhalb des Vakuums befinden oder an den beweglichen Teilen des Manipu-lators verlegt sein. Die Lage beider Strahlen-gänge auf der Probe müssen mittels Pilotla-ser sichtbar gemacht werden können, um die koaxiale Strahlführung einstellen zu können. | ||||||||||||
| A08 | Der Durchmesser des Laserspots | Der Durchmesser des Laserspots auf der zu erwärmenden Fläche muss mindestens 5 mm und darf höchstens 9 mm betragen. Der Durchmesser muss für beide Positionen fest vorgegeben sein. Eine weitere Anpassung muss durch Verschieben des Laserkopfes näher an die Probe heran oder weiter von ihr weg möglich sein. | ||||||||||||
| A09 | Mehrkanal-Thermoelementmessung mit modularer Rückseitenfreiheit, Anzahl Probenhalter | Das System muss für alle mindestens 3 Pro-benpositionen der Kassette Probenhalter bereitstellen, die jeweils eine kontaktierende Temperaturmessung mittels Thermoelement (z. B. Typ K oder Typ N) direkt an der Pro-benhalterplatte (z.B. vom Hersteller Omicron, oder Gleichwertige) be-reitstellen. Gleichzeitig muss konstruktiv sichergestellt sein, dass für den Fall der La-serheizung von der Rückseite (Laserkopfposi-tion 2) der optische Pfad des Lasers und des koaxialen Pyrometers an der jeweiligen Posi-tion vollständig frei von Kabeln, Drähten oder Sensorkomponenten gehalten werden kann. Zulässig sind hierfür entweder eine feste, randseitig geführte Verkabelung oder das Bereitstellen von wechselbaren Halter-Typen mit/ohne Thermoelement. | ||||||||||||
| A10 | Spektrale Durchlässigkeit der Vakuum-Schaugläser / Optiken | Die für die Freistrahleinkopplung genutzten optischen Fenster (Schaugläser) und eventuelle interne Schutzgläser müssen zwingend präzise auf die Wellenlängenbereiche des Lasers (440–1080 nm) und des Pyrometers abgestimmt sein | ||||||||||||
| A11 | Leistungsdaten und Mindestlänge aller externen Lichtleitfasern (Laser & Pyrometer) | Sowohl die externe Laser-Transportfaser als auch die externe Pyrometer- Faser müssen eine Nutzlänge von mindestens 5 Metern aufweisen. Zudem muss die Laserfaser für die maximale Ausgangsleistung (mindestens 70 W bis > 100 W) dauerfest ausgelegt sein und die Pyrometerfaser muss eine verlustfreie Übertragung des Infrarot-Messsignals garantieren. | ||||||||||||
| A12 | Mechanische Wechselbarkeit und Dejustagefreiheit des Optikmoduls | Die gesamte externe optische Einheit (bestehend aus Strahlteiler, Filtern, Faseranschlüssen und Linsensystem) muss als ein kompaktes, geschlossenes Modul ausgeführt sein.Das Modul muss mechanisch so robust konstruiert sein, dass beim physischen Umbau zwischen den Flanschen (Vorder- /Rückseitenwechsel) die interne Justierung (Koaxialität von Laserstrahl zu Pyrometer-Messfleck) zwingend erhalten bleibt. | ||||||||||||
| A13 | Laserschutzklasse 1 im Heizbetrieb und externer mechanischer Schutz | Das Gesamtsystem muss im regulären Laser-Heizbetrieb innerhalb der geschlossenen Ionenimplantationskammer zwingend die Laserschutzklasse 1 einhalten.Zudem müssen alle außerhalb der Kammer befindlichen optischen und faseroptischen Komponenten (z. B. die 5 m langen Transportfasern und das Optikmodul) wirksam gegen mechanische Beschädigungen im Laboralltag geschützt sein (z. B. durch robuste Armierungen oder Schutzgehäuse). | ||||||||||||
| A14 | Erweiterbarer Interlockkreis über potentialfreie Kontakte | Das Sicherheits-Interlocksystem des Laser-Heizers muss zwingend über eine Schnittstelle verfügen, die eine Erweiterung über externe, potentialfreie Kontakte (z. B. externe Relais, Vakuumschalter oder Not-Aus-Schleifen der Hauptanlage) ermöglicht. | ||||||||||||
| A15 | Automatische Closed-Loop-Regelung via PID-Regler | Die Regelung der Laserleistung muss zwingend über einen software- oder hardwarebasierten PID-Regler (Proportional-Integral-Derivative-Regler) erfolgen, der auf Basis mindestens einer kontinuierlich gemessenen Proben- oder Haltertemperatur arbeitet. | ||||||||||||
| A16 | Messbereich des Pyrometers | Der Messbereich des Pyrometers muss den Temperaturbereich von 300°C bis 1250°C umfassen. | ||||||||||||
| Anzahl ausgefü | llter Felder 15 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Teil 2: Preispunkte
max. erreichbare Preispunkte P_max 300
𝑃
𝑚𝑖𝑛
𝑃 = ×𝑃
𝑃 𝑚𝑎𝑥 𝐴𝑛𝑔𝑒𝑏𝑜𝑡
| Angebotspreis erreichte min. Angebotspreis Bieter-Nr. Bietername Angebotspreis [netto] P_Angebot MwSt-Satz MwSt [brutto] P_min Preispunkte P | |
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| 1 Fa. A - € - € - € | #DIV/0! |
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| 3 Fa. C - € - € - € | #DIV/0! |
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Bewertungsmatrix Laserheizer Probenmanipulator 02.10.2026
Teil 3: Leistungskriterien
Bewertungsmaßstab S_i: soweit nicht anders angegben 1 = Ausreichend; 2 = Gut , 3 = Hervorragend
keine Angabge führt zu Ausschluss
| Bieter 1 Fa. A | Bieter 2 Fa. B | Bieter 3 Fa. C | ||||||||||||
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| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | max. erreichbare Leistungspunktzahl (LPmax) | Bieterangabe | Bewertung (S_i) | Kommentar | LP_i | Bieterangabe2 | Bewertung (S_i)2 | Kommentar4 | LP_i 2 | Bieterangabe3 | Bewertung (Si)3 | Kommentar44 | LP_i 3 |
| L01 | Wellenlänge des Lasers 3P (Hervorragend): Wellenlänge im blauen Spektralbereich (440 nm bis 514 nm). 2P (Gut): Wellenlänge im grünen/sichtbaren Bereich (515–850 nm) 1P (Ausreichend): Wellenlänge im Bereich von 851–1080 nm (NIR) | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L02 | Spotsize des Lasers auf Probe (vorder- und rückseitig) 3P (Exzellent): Durchmesser auf der Probe liegt auf beiden Seiten zwischen 7 und 9 mm 2P (Gut): Durchmesser auf der Probe liegt zwischen >= 6 mm und < 7 mm 1P (Ausreichend): Durchmesser auf der Probe liegt unter 6 mm | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L03 | Optische Ausgangsleistung des Lasers 3P (Exzellent): Die max. Ausgangsleistung beträgt >= 100 W 2P (Gut): Die max. Ausgangsleistung liegt zwischen >= 80 W und < 100 W 1P (Ausreichend): Die maximale Ausgangsleistung liegt zwischen 70 W>= und <80 W | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L04 | Maximale Sample Rate des Pyrometers 3P (Exzellent): Die Sampling Rate beträgt >= 10 kHz 2P (Gut): Die Sampling Rate liegt zwischen 5 kHz und unter 10 kHz 1P (Ausreichend): Die Sampling Rate beträgt < 5 kHz | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L05 | Thermische Entkopplung im engen Raum des Probenmanipulators 3P (Exzellent): Minimale Punktkontakte zur Kassette (z. B. über Saphirkugeln) oder eine konstruktiv bedingte, mini-male thermische Leitung, kombiniert mit integrierten Molybdän-Hitzeschilden zwischen den 4 Positionen 2P (Gut): Einsatz von thermischen oder konstruktive Lösung zur Reduzierung des Wärmeflusses vorhanden. Die Probenaufnahme in der Kassette bleibt im sicheren Temperaturbereich, es fehlen jedoch physische Hitze-schilde (Bleche) 1P (Ausreichend): Der Probenhalter liegt flächig auf Me-tall auf. Die Wärme fließt | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L06 | direkt in den Kassettenrahmen ab Z-Positioniergenauigkeit und Fokus-Toleranz des Proben-manipulators 3P (Exzellent): Hochpräzise Führung und Schrittmo-tor/Encoder mit einer Wiederholgenauigkeit von < +/- 0,1 mm (100 µm) 2P (Gut): Achse arbeitet mit einer Genauigkeit von +/- 0,2 mm. Für den Laserprozess ausreichend, hält das Pyrome-ter in einem gut tolerierbaren Messfenster 1P (Ausreichend): Wiederholgenauigkeit ist schlechter als +/- 0,2 mm (z. B. durch Spindelspiel). Risiko von Fokus-abweichungen und pyrometrischen Messfehlern nach dem Probenwechsel. | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L07 | Flexibilität der Flansch-Rotation des Probenmanipulators 3P (Exzellent): Kontinuierliche, uneingeschränkte Rotation der Probenkassette unter Vakuum möglich, ohne dass Dichtungen gelöst werden müssen (z. B. über eine echte Drehdurchführung) 2P (Gut): Rotation im belüfteten Zustand über Langlöcher am Deckenflansch realisiert. Verwendung einer glatten Dichtfläche mit einer vakuumtauglichen Elastomerdich-tung (z. B. Viton). Der Drehwinkel ist ausreichend für die Ausrichtung 1P (Ausreichend): Starr fixierter Flansch (Standard-Kupfer-CF). Keine nachträgliche Winkelanpassung zum dritten Flansch ohne kompletten Tausch oder Umbau von Sys- temkomponenten möglich. | 50 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| Summe | 350 | FALSCH | FALSCH | FALSCH |
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Leistungskriterienkategorie: Regelung / Software Bietername Fa. A Fa. B Fa. C
| Column1 | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | max. erreichbare Leistungspunktzahl (LPmax) | Bieterangabe | Bewertung (S_i) | Kommentar | LP_i | Bieterangabe2 | Bewertung (S_i)2 | Kommentar4 | LP_i 2 | Bieterangabe3 | Bewertung (S_i)3 | Kommentar44 | LP_i 3 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L08 | Funktionsumfang der Temperatur- und Leistungsregelung 3P (Exzellent): Rezeptbasierte Steuerung mit einer pro-grammierbaren, zeitlichen Abfolge von mehreren aufei-nanderfolgenden Temperatur- bzw. Leistungssollwerten (inklusive frei definierbarer Heiz- und Kühlraten) 2P (Gut): Steuerung der reinen Laserleistung sowie eine integrierte geschlossene Temperaturregelung anhand von statischen Sollwerten (inklusive definierbarer Heiz- raten). Keine rezeptbasierte Abfolge. 1P (Ausreichend): Reine Steuerung der Laserleistung über die Vorgabe von statischen Sollwerten. Keine inte-grierte, automatisierte Temperaturregelung oder Heizra- | 70 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L09 | tenrampen vorhanden. Offenheit der Schnittstellen für Eigensteuerung und Automatisierung 3P (Exzellent/Offener Standard): Volle Programmier-schnittstelle zur Steuerung, Regelung und Datenauf-zeichnung. Unterstützt werden .dll (Windows) und/oder .so (Linux) Wrapper UND etablierte Instrumentenproto-kolle/Frameworks (z. B. native SCPI-Befehle via PyVISA über TCP/IP oder USB, EPICS oder Tango). 2P (Gut/Programmierbar): Einbindung und Automatisie-rung sind über eine serielle Schnittstelle (Software-Trigger) ODER über herstellerseitig dokumentierte Pro- grammierbibliotheken (rohe DLL/SO-Wrapper / SDKs) möglich. Keine SCPI-, EPICS- oder Tango-Treiber vorhan-den 1P (Ausreichend/Proprietär): Das System ist eine ge-schlossene „Black Box“ (Bedienung nur über Hersteller-GUI). Eine externe Kopplung ist ausschließlich hard- wareseitig (über ein einfaches binäres Triggersignal, z. B. TTL-Pegel) möglich | 70 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L10 | Betriebssystem-Kompatibilität (OS-Support) 3P (Exzellent/Zukunftssicher): Volle, native Unterstützung für Windows 10, Windows 11 sowie Linux (z. B. offizielle Pakete/Treiber für gängige Distributionen wie Ubuntu/Debian oder RedHat/Rocky Linux). 2P (Gut/Standard): Vollständiger und zertifizierter Support für Windows 10 und Windows 11 (64-Bit). Die Software läuft auf beiden Systemen absolut stabil. Linux- Support ist jedoch nicht vorhanden oder auf reine Datenbankschnittstellen beschränkt 1P (Ausreichend/Riskant): Die Software/Treiber laufen ausschließlich auf Windows 10 einwandfrei. Für Windows 11 gibt es keine offizielle Freigabe oder nur experimentelle | 70 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L11 | Treiber. Linux wird überhaupt nicht unterstützt Einstellbarkeit der Soll-/Ist- und Regelparameter im GUI 3P (Exzellent): Alle relevanten Soll-, Ist- und Regelpara-meter (inkl. PID-Glieder, Filterzeiten, Regelgrenzen) sind vollständig in der GUI frei auswählbar, einstellbar und werden übersichtlich visualisiert. 2P (Gut): Die wichtigsten Soll- und Istwerte sind einstell-bar und werden angezeigt. Der Zugriff auf tiefergehende Regelparameter (z. B. interne PID-Werte) ist jedoch ein- geschränkt oder nur über Konfigurationsdateien (und/oder Terminal/Command Line) möglich. 1P (Ausreichend): Es lassen sich nur minimale Basispa-rameter (z. B. reiner Leistungssollwert) einstellen und anzeigen. Eine Anpassung von Regelparametern an die thermische Dynamik der Kammer ist in der GUI nicht vorgesehen. | 70 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| Summe | 280 | FALSCH | FALSCH | FALSCH |
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Bewertungsmatrix Laserheizer Probenmanipulator 02.10.2026
Leistungskriterienkategorie: Service/Support/Schulung Bietername Fa. A Fa. B Fa. C
| Column1 | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | max. erreichbare Leistungspunktzahl (LPmax) | Bieterangabe | Bewertung (S_i) | Kommentar | LP_i | Bieterangabe2 | Bewertung (Si_)2 | Kommentar4 | LP_i 2 | Bieterangabe3 | Bewertung (S_i)3 | Kommentar44 | LP_i 3 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| L12 | Erweiterte Mängelhaftung (Garantie) 3 P (Exzellent): Der Bieter gewährt eine vertragliche Mängelhaftung von mindestens 48 Monaten (4 Jahre) ab erfolgreicher Inbetriebnahme. 2 P (Gut): Der Bieter gewährt eine vertragliche Mängel-haftung von mindestens 36 Monaten (3 Jahre) ab erfolg-reicher Inbetriebnahme. 1 Punkt (Ausreichend): Der Bieter erfüllt lediglich die vertraglich geforderte Mindestfrist von 24 Monaten (2 Jahre) ab erfolgreicher Inbetriebnahme. | 30 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L13 | Technischer Support und Service-Reaktionszeit 3P (Exzellent): Eine qualifizierte Rückmel-dung/Fehlerdiagnose (per Remote/Telefon) erfolgt nachweislich innerhalb von maximal 24 Stunden (1 Werktag) nach Ticketeingang. Zudem steht ein direktes Ticket- oder Hotline-System ohne zwischengeschaltete Callcenter zur Verfügung. 2P (Gut): Eine qualifizierte Rückmeldung erfolgt inner-halb von 2 bis 3 Werktagen. Der Support ist über norma-le E-Mail-Kanäle zu den üblichen Bürozeiten erreichbar. 1P (Ausreichend): Es gibt keine vertraglich zugesicherte Reaktionszeit (Support erfolgt nach Best-Effort-Prinzip) oder die Erreichbarkeit ist stark eingeschränkt. | 15 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L14 | Schulung und Einweisung des Bedienpersonals 3P (Exzellent): Umfangreiche Vor-Ort-Schulung (mindes-tens 1–2 Tage) direkt nach der Installation an der Anlage für alle Bediener. Beinhaltet Lasersicherheitsunterwei- sung, Probenwechsel-Training am Manipulator, Soft-ware-Rezeptur-Erstellung und erweiterte Fehlerbehe-bung (Troubleshooting). Schulungsunterlagen werden digital bereitgestellt. 2P (Gut): Eine grundlegende Einweisung (ca. 2–3 Stun-den) erfolgt direkt im Anschluss an die Installation vor Ort oder als interaktives Online-Live-Seminar. Die Soft-ware-Bedienung und der grundlegende Probenwechsel werden abgedeckt. 1P (Ausreichend): Es wird keine strukturierte Schulung angeboten. Die Einweisung beschränkt sich auf die Über-gabe des gedruckten Benutzerhandbuchs bei Lieferung. | 15 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| L15 | Lizenzmodell, Updates und Software-Upgrades 3P (Exzellent): Bereitstellung einer unbefristeten Vollli-zenz (Lifetime) ohne wiederkehrende Kosten, installier-bar auf beliebig vielen PCs (Mehrplatzlizenz ohne USB-Dongle). Alle zukünftigen Software-Updates (Bugfixes) sowie funktionserweiternde Software-Upgrades (neue Hauptversionen) sind dauerhaft und unbegrenzt kosten-frei enthalten. 2P (Gut): Unbefristete Lizenz für den Betrieb an der An-lage enthalten. Die Installation auf weiteren PCs zur Datenanalyse ist auf eine feste Anzahl limitiert oder an einen Hardware-Dongle gebunden. Kleinere Updates (Bugfixes) sind kostenfrei, größere Upgrades (neue Hauptversionen) sind jedoch nach einem bestimmten Zeitraum (z. B. nach 12 oder 24 Monaten) kostenpflich-tig. 1P (Ausreichend): Restriktives Lizenzmodell (z. B. Bin-dung an nur einen PC via MAC- Adresse oder jährliche Abo-Gebühren). Sämtliche Updates und Upgrades sind ab dem Tag der Lieferung kostenpflichtig oder nur über einen separaten Wartungsvertrag erhältlich. | 10 | FALSCH | FALSCH | FALSCH | |||||||||
| Summe | 70 | FALSCH | FALSCH | FALSCH |
Kontrollsumme max. erreichbare Leistungspunkte 700
Berechnungsformeln: Bewertung
1 Leistungspunktzahl pro Leistungskriterium: Anbieter Fa. A Fa. B Fa. C
Ausschlusskriterien erfüllt? FALSCH FALSCH FALSCH
2 gesamte Leistungspunktzahl: Gewichtung Preis 30% alle Angaben bei Bewertungskriterien vorhanden? FALSCH FALSCH FALSCH
Gewichtung Leistung 70% Summe der Leistungspunkte LP_ges 0,00 0,00 0,00
3 Preispunktzahl: Angebotspreis (Brutto) - € - € - €
Preispunkte P #DIV/0! #DIV/0! #DIV/0!
4
Wertungspunktzahl1: erreichte Gesamtpunktzahl #DIV/0! #DIV/0! #DIV/0!
1 Hinweis: Die Wertungspunktzahl wird nur ermittelt, insofern alle Ausschlusskriterien erfüllt sind, und alle Bewertungskriterien eine Bewertungspunktzahl S_i enthalten. Ist dies nicht der Fall, wird das Angebot ausgeschlossen Wertungspunktzahl WP