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Leistungsverzeichnis
Dauerstrichlaserheizsystem zur schnellen thermischen Probenbehandlung vor/nach Ionenimplantation im UHV; inkl. System zur Probenmanipulation/Positionierung
1. Allgemeine Angaben
1.1. Auftraggeber / Ausschreibende Stelle
Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau
1.2. Gegenstand der Ausschreibung
Dauerstrichlaserheizsystem zur schnellen thermischen Probenbehandlung direkt nach Ionenimplantation; inkl. System zur Probenmanipulation/Positionierung
1.3. Verwendungszweck
Das System wird zur Durchführung von Forschungsarbeiten im Bereich Oberflächenphysik/Materialwissen- schaften eingesetzt.
1.4. Finanzielle Sicherheiten und Zahlungsbedingungen
1.4.1. Zahlungsplan Die Zahlung erfolgt entsprechend dem zwischen Auftraggeber und Auftragnehmer vereinbarten Zahlungs- plan:
• 30 % der Auftragssumme nach Beauftragung und Vorlage einer selbstschuldnerischen, unbefristeten Bankbürgschaft eines in der Europäischen Union/Deutschland zugelassenen Kreditinstituts durch den Auftragnehmer (gemäß Abschnitt 1.7.1.); • 60 % der Auftragssumme nach Lieferung an den Auftraggeber; • 10 % der Auftragssumme nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme.
2. Beschreibung des Beschaffungsgegenstandes
2.1. Zielsetzung und wissenschaftlicher Hintergrund
Das zu beschaffende System dient der schnellen und präzisen thermischen Behandlung von Proben vor und nach Ionenimplantation im Ultrahochvakuum (UHV). Ziel ist es, reproduzierbare thermische Prozesse zur Modifikation von Materialeigenschaften zu ermöglichen und damit grundlegende Forschungsarbeiten im Be- reich der Festkörperphysik und Materialwissenschaften zu unterstützen. Spezielle Forschungsfragestellungen wie Dotierung, Defektheilung werden hierbei verfolgt und damit die be- stehende Implantationskammer (eMIL-Aufbau) erweitert werden.
Der Dauerstrichlaser für Rapid Annealing soll als Erweiterung einer Implantationskammer eingesetzt werden. Das gewünschte Anwendungsprinzip ist in Abb. 1 dargestellt. Innerhalb einer UHV-Kammer ist ein entlang der z-Achse beweglicher Probenhalter installiert, der mit 3–4 Proben einer maximalen Größe von 10 × 10 mm² bestückt ist. Der Probenhalter soll über mindestens 3 verstellbare vertikale Positionen verfügen, die von einem Laser-Steuerungs-PC gesteuert werden. Die Bewegung wird durch einen Schrittmotor ausgeführt. Mögliche relevante Proben sind geschichtete Dünnschichten (wie TMDCs, Perowskite, MXene, Fluorit-HEOs usw.) auf verschiedenen Substraten (Quarz, Saphir usw.). Das RLA-System soll in der Lage sein, Proben je
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nach gewählter Anordnung vor und nach der radioaktiven Implantation lokal und senkrecht von der Vorder- bzw. Rückseite zu erwärmen. Der einfallende radioaktive Ionenstrahl trifft seitlich in einem bestimmten Win- kel (30°) auf, und bei einem Winkel von 60° führt ein spezieller Avalanche-Detektor On-line-Messungen durch. Der Heizbereich die Heizfläche ist variabel und hängt von Probengröße, Anordnung und Art der An- wendung ab.
Abbildung 1: Prinzip des lokalen Laserheizsystems mit zwei möglichen Einbauorten (#1, #2) des Lasers. Die z-Achse zeigt aus der Zeichenebene hinaus.
2.2. Übersicht der Hauptkomponenten
Das System soll aus drei Hauptkomponenten aufgebaut sein und über ein PC-System steuer- und regelbar sein, welches nicht Bestandteil der Beschaffung ist. • Integrierte Dauerstrichlaser-Pyrometer-Einheit: Fasergekoppeltes System zur Montage an zwei UHV-Flanschen, inklusive koaxialer Temperaturmes- sung via Strahlteiler direkt im Laserspot. Das System muss über eine zusätzliche, probennahe Tempe- raturmessung mittels Thermoelemente verfügen. Die Systemsteuerung und -regeleinheit muss so aus- gelegt sein, dass sowohl das Pyrometer als auch die Thermoelemente wahlweise als Signalquelle für die geschlossene Regelung (Closed-Loop) der Laserleistung genutzt werden können (mit Software, GUI). • Probenmanipulator: An einem UHV-Deckenflansch montierbare Probenstange, ausgestattet mit einem automatisierten (motorisierten) Z-Hub zur vertikalen Positionierung. Die Winkeljustierung/Rotation der gesamten Ein- heit muss möglich sein. Der Manipulator muss über thermisch entkoppelte Probenaufnahmen für min- destens drei Proben verfügen und die zugehörige UHV-taugliche Thermoelement-Sensorik voll integ- rieren.
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• Sicherheitseinrichtungen (Laserabschottung, Not-Aus, etc.)
3. Technische Mindestanforderungen (Ausschlusskriterien)
Das Angebot muss sämtliche nachfolgend aufgeführten technischen Mindestanforderungen (Ausschlusskri- terien) in Tabelle 1 uneingeschränkt erfüllen. Angebote, die eine dieser Anforderungen nicht erfüllen, wer- den ausgeschlossen. Ein entsprechender Nachweis in Form von technischen Datenblättern oder anderen schriftlichen Nachweisen, aus denen die vom Bieter angebotenen Spezifikationen hervorgehen, ist mit dem Angebot einzureichen und in Tabelle 1 zu referenzieren.
Tabelle 1: Ausschlusskriterien
| Nr. | Bezeichnung | Beschreibung | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| A01 | Normenkonfor- mität und CE- Kennzeichnung | Das gesamte Laser-Heizsystem (einschließlich aller elektronischen, optischen und mechani- schen Komponenten) muss eine gültige CE- Kennzeichnung besitzen. Eine entsprechende EU-Konformitätserklärung ist den Angebots- unterlagen beizufügen. | Eine Kopie der EU Konformitätserklärung für das angebotene Gesamtsystem liegt bei: [ ] Ja [ ] Nein |
| A02 | Kompatibilität zur (neu konstru- ierten) Versuchs- kammer | Das angebotene Laser-Heizsystem und der zu- gehörige Probenmanipulator müssen so kon- struiert und geliefert werden, dass sie an die finale Ausführung einer auf Basis der beige- fügten vorläufigen Konstruktionszeichnung (Anlage1_Chamber_DN200CF_19.09- beta2.pdf) neu angefertigten Versuchskam- mer adaptierbar sind. Maßliche und funktio- nale Anpassungen (z. B. an Flanschbildern, Abmessungen, Anschlusspositionen) sind im üblichen Toleranzrahmen durch den Auftrag- nehmer ohne gesonderte Mehrkosten umzu- setzen. Die aktuellen Ausführungsunterlagen werden dem Auftragnehmer nach Zu- schlagserteilung rechtzeitig zur Verfügung ge- stellt. Erforderliche Detailabstimmungen sind in enger Kommunikation mit dem Auftragge- ber durchzuführen. Nach Auftragserteilung sind größere, systemkritische Anpassungen an der Kammer selbst im Vorfeld mit dem Auftraggeber abzustimmen und von diesem zu genehmigen. | Das angebotene System ist auf Grundlage der aktuellen Planung adaptierbar und wird nach Vorlage der finalen Ausfüh- rungsunterlagen auf Kosten des Auftrag- nehmers an die endgültigen Schnittstel- len und Abmessungen angepasst: [ ] Ja [ ] Nein |
| A03 | Neugerät (Fabrik- neu) | Bei der angebotenen Gesamtanlage inklusive aller Unterkomponenten (Laserquelle, Pyro- meter, Manipulator, Software, Optiken und Steuerung) muss es sich zwingend um fabrik- neue Ware aus aktueller Produktion handeln. | Der Bieter bestätigt mit Abgabe des Ange- bots, dass es sich bei allen angebotenen Komponenten um fabrikneue Ware (Neu- geräte) handelt: [ ] Ja [ ] Nein |
| A04 | Vakuumtauglich- keit und Eignung für Ionenimplan- tationskammer | Alle Materialien innerhalb der Vakuumkam- mer müssen bei mindestens 150°C ausheizbar sein. | Wir bestätigen, dass alle verwendeten Materialien innerhalb des Vakuums bei mindestens 150°C ausheizbar sind. [ ] ja [ ] nein |
A04 tationskammer sein. [ ] nein
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| Nr. | Bezeichnung | Beschreibung | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| A05 | Wellenlänge des Lasers und mini- male optische Ausgangsleistung | Die Wellenlänge des Lasers liegt im Bereich von 440 - 1080 nm. Die minimale optische Ausgangsleistung beträgt mindestens 70W. | Die Wellenlänge des Lasers beträgt: ______ nm. Die minimale optische Ausgangsleistung des Lasers beträgt ________ W. |
| A06 | Feinstufige Re- gelbarkeit der La- serleistung | Die optische Ausgangsleistung des Lasers muss zwingend in feinen Abstufungen (z. B. in Schritten von maximal 1 % der Nennleistung oder kleiner) kontinuierlich regelbar sein. | Der Bieter hat die kleinstmögliche Schritt- weite (Auflösung) der Leistungsregelung in Watt oder Prozent anzugeben. |
| A07 | Koaxiale Pyro- metriemessung im Freistrahl | Die Temperaturerfassung am Ort des Heiz-La- serspots muss zwingend koaxial im Laserspot erfolgen. Die Einkopplung des Lasers sowie die Auskopplung des Pyrometersignals müs- sen von außerhalb der Kammer über optische Fenster (Schaugläser) als Freistrahl realisiert werden. Es dürfen sich keine Lichtleitfasern innerhalb des Vakuums befinden oder an den beweglichen Teilen des Manipulators verlegt sein. Die Lage beider Strahlengänge auf der Probe müssen mittels Pilotlaser sichtbar ge- macht werden können, um die koaxiale Strahlführung einstellen zu können. | Pyrometrie koaxial als Freistrahl, ohne Fa- sern im Vakuum: [ ] Ja [ ] Nein Beide Strahlengänge (Laser und Pyrome- ter) verfügen über einen Pilotlaser zur Einstellung der Koaxialität. [ ] Ja [ ] Nein |
| A08 | Der Durchmesser des Laserspots | Der Durchmesser des Laserspots auf der zu erwärmenden Fläche muss mindestens 5 mm und darf höchstens 9 mm betragen. Der Durchmesser muss für beide Positionen fest vorgegeben sein. Eine weitere Anpassung muss durch Verschieben des Laserkopfes nä- her an die Probe heran oder weiter von ihr weg möglich sein. | Der minimale Spotdurchmesser auf der Probe beträgt _______ mm. Der maximale Spotdurchmesser auf der Probe beträgt _______ mm. Das Verschieben der Fokuslage wird durch folgende Lösung erzielt: _______________________________ |
| A09 | Mehrkanal-Ther- moelementmes- sung mit modula- rer Rückseiten- freiheit, Proben- halter | Das System muss für alle mindestens 3 Pro- benpositionen der Kassette Probenhalter be- reitstellen, die jeweils eine kontaktierende Temperaturmessung mittels Thermoelement (z. B. Typ K oder Typ N) direkt an der Proben- halterplatte (z.B. vom Hersteller Omicron, oder Gleichwertige) bereitstellen. Gleichzeitig muss konstruktiv sichergestellt sein, dass für den Fall der Laserheizung von der Rückseite (Laserkopfposition 2) der optische Pfad des Lasers und des koaxialen Pyrometers an der jeweiligen Position vollständig frei von Ka- beln, Drähten oder Sensorkomponenten ge- halten werden kann. Zulässig sind hierfür ent- weder eine feste, randseitig geführte Verka- belung oder das Bereitstellen von wechselba- ren Halter-Typen mit/ohne Thermoelement. | 1. Es ist an allen Probenpositionen der Kassette eine Temperaturmessung mit- tels Thermoelements direkt an der Pro- benhalterplatte vorhanden. [ ] Ja / [ ] Nein 2. Anzahl der Probenhalter ist >=3. [ ] Ja, / [ ] Nein 3. Bei einer Laserheizung von der Rück- seite ist der optische Pfad des Lasers und des Pyrometers vollständig frei von Ka- beln und Sensorkomponenten. [ ] Ja / [ ] Nein 4. Art der technischen Umsetzung:(Hierzu ist vom Bieter lediglich die zutreffende Variante anzukreuzen) [ ] Variante 1: Feste, randseitig geführte Verkabelung (z. B. via Vakuum-Schlepp- kette oder gleichtwertiger Lösung). [ ] Variante 2: Modular wechselbare Hal- ter-Typen (Lieferung von Haltern mit und Haltern ohne Thermoelement). Eigenerklärung des Bieters: „Wir bestäti- gen mit Abgabe dieses Angebots, dass die von uns gewählte technische Variante eine zu 100 % barrierefreie optische |
A09 halter ren Halter-Typen mit/ohne Thermoelement. eine zu 100 % barrierefreie optische
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| Nr. | Bezeichnung | Beschreibung | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| Durchführung für den rückseitigen Laser- strahl garantiert und alle im Vakuum be- findlichen Komponenten für den Betrieb in einer Ionenimplantationskammer ge- eignet sind. [ ] Ja / [ ] Nein | |||
| A10 | Spektrale Durch- lässigkeit der Va- kuum-Schauglä- ser / Optiken | Die für die Freistrahleinkopplung genutzten optischen Fenster (Schaugläser) und eventu- elle interne Schutzgläser müssen zwingend präzise auf die Wellenlängenbereiche des La- sers (440–1080 nm) und des Pyrometers ab- gestimmt sein | 1. Koaxiale Messung erfolgt als Freistrahl von außen. Es befinden sich keine Licht- leitfasern im Vakuum der Kammer. [ ] Ja / [ ] Nein 2. Die angebotenen Vakuum-Fens- ter/Schaugläser sind für den Bereich von 440 nm bis 1080 nm sowie für das Pyro- meter-Messband optisch spezifiziert. [ ] Ja / [ ] Nein Verwendetes Fenstermaterial (z. B. Quarzglas/Fused Si- lica):______________________________ ______ |
| A11 | Leistungsdaten und Mindest- länge aller exter- nen Lichtleitfa- sern (Laser & Py- rometer) | Sowohl die externe Laser-Transportfaser als auch die externe Pyrometer-Faser müssen eine Nutzlänge von mindestens 5 Metern auf- weisen. Zudem muss die Laserfaser für die maximale Ausgangsleistung (mindestens 70 W bis zur angebotenen Laserleistung) dauer- fest ausgelegt sein und die Pyrometerfaser muss eine verlustfreie Übertragung des Infra- rot-Messsignals garantieren. | 1. Die externe Laser-Transportfaser be- sitzt eine Länge von 5 m und ist für die maximale Laserleistung dauerfest spezifi- ziert. [ ] Ja Angebotene Länge: _______________m Faserdurchmesser: ______________ µm 2. Die externe Pyrometer-Faser besitzt eine Länge von 5 m und ist optisch prä- zise auf das Pyrometer-Messband abge- stimmt. [ ] Ja Angebotene Länge: _______________ m |
| A12 | Mechanische Wechselbarkeit und Justagemög- lichkeit des Op- tikmoduls | Die gesamte externe optische Einheit (beste- hend aus Strahlteiler, Filtern, Faseranschlüs- sen und Linsensystem oder gleichwertigen optischen Anordnung) muss als ein kompak- tes, geschlossenes Modul ausgeführt sein. Das Modul muss mechanisch so konstruiert sein, dass bei mechanischer Umsetzung zwi- schen den Flanschen (Laserkopfposition 1 und 2) die Justage (Koaxialität von Laserstrahl zu Pyrometer-Messfleck) ermöglicht ist. | Wir bestätigen mit Abgabe des Angebots, dass die optische Einheit für den regelmä- ßigen, Wechsel zwischen den Flanschen konstruiert und spezifiziert ist, sowie eine Justagemöglichkeit der Koaxialität zwi- schen Laserstrahlengang und Pyrometer- strahlengang gewährleistet ist. [ ] Ja [ ] Nein |
| A13 | Laserschutz- klasse 1 im Heiz- betrieb und ex- terner mechani- scher Schutz | Das Gesamtsystem muss im regulären Laser- Heizbetrieb innerhalb der geschlossenen Io- nenimplantationskammer zwingend die La- serschutzklasse 1 einhalten. Zudem müssen alle außerhalb der Kammer befindlichen opti- schen und faseroptischen Komponenten (z. B. die 5 m langen Transportfasern und das Op- tikmodul) wirksam gegen mechanische Be- schädigungen im Laboralltag geschützt sein (z. B. durch robuste Armierungen oder Schutzge- häuse). | 1. Das Gesamtsystem hält im geschlosse- nen Zustand an der Kammer die Laser- schutzklasse 1 ein. [ ] Ja [ ] Nein 2. Die externen Fasern und Optiken besit- zen einen wirksamen Schutz gegen me- chanische Beschädigung (z. B. Metallar- mierung). [ ] Ja [ ] Nein |
A13 scher Schutz häuse). [ ] Nein
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| Nr. | Bezeichnung | Beschreibung | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| Art des mechanischen Schutzes der Fa- sern (z. B. Edelstahl-Schutz- schlauch):__________________________ _____ | |||
| A14 | Erweiterbarer In- terlockkreis über potentialfreie Kontakte | Das Sicherheits-Interlocksystem des Laser- Heizers muss zwingend über eine Schnittstelle verfügen, die eine Erweiterung über externe, potentialfreie Kontakte (z. B. externe Relais, Vakuumschalter oder Not-Aus-Schleifen der Hauptanlage) ermöglicht. | Der integrierte Interlockkreis ist über ex- terne, potentialfreie Kontakte (z. B. zur Einbindung in den Not-Aus-Kreis der Hauptanlage) erweiterbar. [ ] Ja [ ] Nein Typ der physischen Schnittstelle (z. B. BNC, Sub-D oder Klemm- leiste):__________________________ |
| A15 | Automatische Closed-Loop-Re- gelung via PID- Regler | Die Regelung der Laserleistung muss zwin- gend über einen software- oder hardwareba- sierten PID-Regler (Proportional-Integral-Deri- vative-Regler) erfolgen, der auf Basis mindes- tens einer kontinuierlich gemessenen Proben- oder Haltertemperatur arbeitet. | Das System verfügt über eine geschlos- sene Temperaturregelung mittels PID- Regler basierend auf einer gemessenen Ist-Temperatur. [ ] Ja Als Regelquelle(n) nutzbar: [ ] Koaxiales Pyrometer [ ] Thermoelement [ ] Beide Quellen |
| A16 | Messbereich des Pyrometers | Der Messbereich des Pyrometers muss den Temperaturbereich von 300°C bis 1250°C um- fassen. | Der Messbereich des Pyrometers umfasst den Temperaturbereich von 300-1250°C. [ ] Ja [ ] Nein |
A16 Pyrometers fassen. [ ] Nein
4. Bewertungskriterien (Leistungskriterien)
Zusätzlich zu den Mindestanforderungen werden die nachstehend aufgeführten Leistungsmerkmale im Rah- men der Angebotsbewertung berücksichtigt. Die Bewertung erfolgt anhand der in den Tabellen 2 bis 4 dar- gestellten Kriterien und deren Gewichtung. Die Bieter sind verpflichtet, alle Angaben zu diesen Leistungs- merkmalen beziehungsweise Kriterien in den Angebotsunterlagen eindeutig zu kennzeichnen und ggf. gefor- derte Nachweise beizufügen. Die Angaben und Nachweise müssen mit den jeweiligen Kriterien in den Tabel- len 2 bis 4 eindeutig referenziert und nachvollziehbar zugeordnet werden.
Tabelle 2: Leistungskriterien im Bereich Hardware
| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | max. er- reichbare Leistungs- punktzahl (LPmax) | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| L01 | Wellenlänge des Lasers 3P (Hervorragend): Wellenlänge im blauen Spektralbereich (440 nm bis 514 nm). 2P (Gut): Wellenlänge im grünen/sichtbaren Bereich (515– 850 nm) 1P (Ausreichend): Wellenlänge im Bereich von 851–1080 nm (NIR) | 50 | Angebotene Wellenlänge der Laserdiode: ________ nm |
| L02 | Spotsize des Lasers auf Probe (vorder- und rückseitig) 3P (Exzellent): Durchmesser auf der Probe liegt auf beiden Seiten zwischen 7 und 9 mm | 50 | min. Durchmesser des Laser- spots frontseitig: ________ mm. |
L02 Seiten zwischen 7 und 9 mm mm.
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| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | max. er- reichbare Leistungs- punktzahl (LPmax) | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| 2P (Gut): Durchmesser auf der Probe liegt zwischen >= 6 mm und < 7 mm 1P (Ausreichend): Durchmesser auf der Probe liegt unter 6 mm | max. Durchmesser des Laser- spots frontseitig: ________ mm. min. Durchmesser des Laser- spots rückseitig: ________ mm. max. Durchmesser des Laser- spots rückseitig: ________ mm. | ||
| L03 | Optische Ausgangsleistung des Lasers 3P (Exzellent): Die max. Ausgangsleistung beträgt >= 100 W 2P (Gut): Die max. Ausgangsleistung liegt zwischen >= 80 W und < 100 W 1P (Ausreichend): Die maximale Ausgangsleistung liegt zwi- schen 70 W>= und <80 W | 50 | Maximale kontinuierliche op- tische Ausgangsleistung: ________ W |
| L04 | Maximale Sample Rate des Pyrometers 3P (Exzellent): Die Sampling Rate beträgt >= 10 kHz 2P (Gut): Die Sampling Rate liegt zwischen 5 kHz und unter 10 kHz 1P (Ausreichend): Die Sampling Rate beträgt < 5 kHz | 50 | Sampling Rate des Pyrome- ters beträgt: ________ kHz |
| L05 | Thermische Entkopplung im engen Raum des Probenma- nipulators 3P (Exzellent): Minimale Punktkontakte zur Kassette (z. B. über Saphirkugeln) oder eine konstruktiv bedingte, mini- male thermische Leitung, kombiniert mit integrierten Mo- lybdän-Hitzeschilden zwischen den 4 Positionen 2P (Gut): Einsatz von thermischen oder konstruktive Lö- sung zur Reduzierung des Wärmeflusses vorhanden. Die Probenaufnahme in der Kassette bleibt im sicheren Tempe- raturbereich, es fehlen jedoch physische Hitzeschilde (Ble- che) 1P (Ausreichend): Der Probenhalter liegt flächig auf Metall auf. Die Wärme fließt direkt in den Kassettenrahmen ab | 50 | Welche konstruktive Isolation wird gegen Wärmeleitung und Strahlung eingesetzt? |
| L06 | Z-Positioniergenauigkeit und Fokus-Toleranz des Proben- manipulators 3P (Exzellent): Hochpräzise Führung und Schrittmotor/En- coder mit einer Wiederholgenauigkeit von < +/- 0,1 mm (100 µm) 2P (Gut): Achse arbeitet mit einer Genauigkeit von +/- 0,2 mm. Für den Laserprozess ausreichend, hält das Pyrometer in einem gut tolerierbaren Messfenster 1P (Ausreichend): Wiederholgenauigkeit ist schlechter als +/- 0,2 mm (z. B. durch Spindelspiel). Risiko von Fokusab- weichungen und pyrometrischen Messfehlern nach dem Probenwechsel. | 50 | Garantierte motorisierte Wie- derholgenauigkeit der Z- Achse: ± __________ µm |
| L07 | Flexibilität der Flansch-Rotation des Probenmanipulators 3P (Exzellent): Kontinuierliche, uneingeschränkte Rotation der Probenkassette unter Vakuum möglich, ohne dass Dichtungen gelöst werden müssen (z. B. über eine echte Drehdurchführung) | 50 | Art der technischen Umset- zung für die rotative Ausrich- tung zum 3. Flansch: [ ] Kontinuierliche UHV-Dreh- durchführung (unter Vakuum) |
L07 Drehdurchführung) durchführung (unter Vakuum)
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| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | max. er- reichbare Leistungs- punktzahl (LPmax) | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| 2P (Gut): Rotation im belüfteten Zustand über Langlöcher am Deckenflansch realisiert. Verwendung einer glatten Dichtfläche mit einer vakuumtauglichen Elastomerdichtung (z. B. Viton). Der Drehwinkel ist ausreichend für die Aus- richtung 1P (Ausreichend): Starr fixierter Flansch (Standard-Kupfer- CF). Keine nachträgliche Winkelanpassung zum dritten Flansch ohne kompletten Tausch oder Umbau von System- komponenten möglich. | [ ] Langlöcher am Decken- flansch mit Elastomerdichtung (Viton) [ ] Sonstiges: ____________ | ||
| Maximal erreichbare Gesamtleistungspunktzahl im Be- reich: Hardware | 350 |
reich: Hardware
Tabelle 3: Leistungskriterien im Bereich Steuerung/Regelung/Software
| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | LPmax | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| L08 | Funktionsumfang der Temperatur- und Leistungsrege- lung 3P (Exzellent): Rezeptbasierte Steuerung mit einer pro- grammierbaren, zeitlichen Abfolge von mehreren aufei- nanderfolgenden Temperatur- bzw. Leistungssollwerten (inklusive frei definierbarer Heiz- und Kühlraten) 2P (Gut): Steuerung der reinen Laserleistung sowie eine integrierte geschlossene Temperaturregelung anhand von statischen Sollwerten (inklusive definierbarer Heizraten). Keine rezeptbasierte Abfolge. 1P (Ausreichend): Reine Steuerung der Laserleistung über die Vorgabe von statischen Sollwerten. Keine integrierte, automatisierte Temperaturregelung oder Heizratenram- pen vorhanden. | 70 | [ ] Rezeptbasiert, mehrere Schritte inkl. Heiz-/Kühlraten [ ] Temperaturregelung, stati- scher Sollwert, Heizrate [ ] Nur statische Laserleistung |
| L09 | Offenheit der Schnittstellen für Eigensteuerung und Au- tomatisierung 3P (Exzellent/Offener Standard): Volle Programmier- schnittstelle zur Steuerung, Regelung und Datenaufzeich- nung. Unterstützt werden .dll (Windows) und/oder .so (Linux) Wrapper UND etablierte Instrumentenproto- kolle/Frameworks (z. B. native SCPI-Befehle via PyVISA über TCP/IP oder USB, EPICS oder Tango). 2P (Gut/Programmierbar): Einbindung und Automatisie- rung sind über eine serielle Schnittstelle (Software-Trig- ger) ODER über herstellerseitig dokumentierte Program- mierbibliotheken (rohe DLL/SO-Wrapper / SDKs) möglich. Keine SCPI-, EPICS- oder Tango-Treiber vorhanden 1P (Ausreichend/Proprietär): Das System ist eine ge- schlossene „Black Box“ (Bedienung nur über Hersteller- GUI). Eine externe Kopplung ist ausschließlich hard- wareseitig (über ein einfaches binäres Triggersignal, z. B. TTL-Pegel) möglich | 70 | [ ] Offene Programmier- schnittstelle (.dll/.so & SCPI/E- PICS/Tango möglich) [ ] Programmierbar über seri- elle Schnittstelle oder SDK [ ] Nur Trigger/Black-Box (keine externe Softwareanbin- dung) |
| L10 | Betriebssystem-Kompatibilität (OS-Support) | 70 | Unterstützte Betriebssysteme (nativ und zertifiziert): |
L10 (nativ und zertifiziert):
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| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | LPmax | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| 3P (Exzellent/Zukunftssicher): Volle, native Unterstützung für Windows 10, Windows 11 sowie Linux (z. B. offizielle Pakete/Treiber für gängige Distributionen wie Ubuntu/De- bian oder RedHat/Rocky Linux). 2P (Gut/Standard): Vollständiger und zertifizierter Support für Windows 10 und Windows 11 (64-Bit). Die Software läuft auf beiden Systemen absolut stabil. Linux-Support ist jedoch nicht vorhanden oder auf reine Datenbankschnitt- stellen beschränkt 1P (Ausreichend/Riskant): Die Software/Treiber laufen ausschließlich auf Windows 10 einwandfrei. Für Windows 11 gibt es keine offizielle Freigabe oder nur experimentelle Treiber. Linux wird überhaupt nicht unterstützt | [ ] Windows 10 (64-Bit) [ ] Windows 11 (64-Bit) [ ] Linux (Distribution/Ver- sion): ________________________ ____ [ ] anderes Betriebssystem: ________________________ | ||
| L11 | Einstellbarkeit der Soll-/Ist- und Regelparameter im GUI 3P (Exzellent): Alle relevanten Soll-, Ist- und Regelparame- ter (inkl. PID-Glieder, Filterzeiten, Regelgrenzen) sind voll- ständig in der GUI frei auswählbar, einstellbar und werden übersichtlich visualisiert. 2P (Gut): Die wichtigsten Soll- und Istwerte sind einstell- bar und werden angezeigt. Der Zugriff auf tiefergehende Regelparameter (z. B. interne PID-Werte) ist jedoch einge- schränkt oder nur über Konfigurationsdateien (und/oder Terminal/Command Line) möglich. 1P (Ausreichend): Es lassen sich nur minimale Basispara- meter (z. B. reiner Leistungssollwert) einstellen und anzei- gen. Eine Anpassung von Regelparametern an die thermi- sche Dynamik der Kammer ist in der GUI nicht vorgese- hen. | 70 | [ ] Alle relevanten Soll-/Ist- /Regelparameter (inkl. PID, Filterzeiten, Grenzen) frei und übersichtlich einstellbar [ ] Wichtige Soll-/Ist-Werte einstellbar, tiefergehende Pa- rameter nur einge- schränkt/außerhalb GUI [ ] Nur Basisparameter (z. B. Leistung) einstellbar, keine Regelparameteranpassung in der GUI |
| Maximal erreichbare Gesamtleistungspunktzahl im Be- reich: Steuerung/Regelung/Software | 280 |
reich: Steuerung/Regelung/Software
Tabelle 4: Leistungskriterien im Bereich Garantie / Support / Schulung
| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | LPmax | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| L12 | Erweiterte Mängelhaftung (Garantie) 3 P (Exzellent): Der Bieter gewährt eine vertragliche Män- gelhaftung von mindestens 48 Monaten (4 Jahre) ab er- folgreicher Inbetriebnahme. 2 P (Gut): Der Bieter gewährt eine vertragliche Mängel- haftung von mindestens 36 Monaten (3 Jahre) ab erfolg- reicher Inbetriebnahme. 1 Punkt (Ausreichend): Der Bieter erfüllt lediglich die ver- traglich geforderte Mindestfrist von 24 Monaten (2 Jahre) ab erfolgreicher Inbetriebnahme. | 30 | Angebotene vollumfängliche Garantiezeit / Mängelhaftung ab erfolgreicher Inbetrieb- nahme: __________Monate (Die Frist muss alle Hardware- und Softwarekomponenten umfassen, exklusive separat ausgewiesener Verschleiß- teile). |
| L13 | Technischer Support und Service-Reaktionszeit 3P (Exzellent): Eine qualifizierte Rückmeldung/Fehlerdiag- nose (per Remote/Telefon) erfolgt nachweislich innerhalb von maximal 24 Stunden (1 Werktag) nach Ticketeingang. Zudem steht ein direktes Ticket- oder Hotline-System ohne zwischengeschaltete Callcenter zur Verfügung. | 15 | Vertraglich zugesicherte Reak- tionszeit bei technischen Stö- rungen: __________ Stunden |
L13 ohne zwischengeschaltete Callcenter zur Verfügung.
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| Nr. | Leistungskriterium / Bewertungsmaßstab | LPmax | Technische Spezifikation des Bieters |
|---|---|---|---|
| 2P (Gut): Eine qualifizierte Rückmeldung erfolgt innerhalb von 2 bis 3 Werktagen. Der Support ist über normale E- Mail-Kanäle zu den üblichen Bürozeiten erreichbar. 1P (Ausreichend): Es gibt keine vertraglich zugesicherte Reaktionszeit (Support erfolgt nach Best-Effort-Prinzip) oder die Erreichbarkeit ist stark eingeschränkt. | |||
| L14 | Schulung und Einweisung des Bedienpersonals 3P (Exzellent): Umfangreiche Vor-Ort-Schulung (mindes- tens 1–2 Tage) direkt nach der Installation an der Anlage für alle Bediener. Beinhaltet Lasersicherheitsunterwei- sung, Probenwechsel-Training am Manipulator, Software- Rezeptur-Erstellung und erweiterte Fehlerbehebung (Troubleshooting). Schulungsunterlagen werden digital bereitgestellt. 2P (Gut): Eine grundlegende Einweisung (ca. 2–3 Stunden) erfolgt direkt im Anschluss an die Installation vor Ort oder als interaktives Online-Live-Seminar. Die Software-Bedie- nung und der grundlegende Probenwechsel werden abge- deckt. 1P (Ausreichend): Es wird keine strukturierte Schulung an- geboten. Die Einweisung beschränkt sich auf die Über- gabe des gedruckten Benutzerhandbuchs bei Lieferung. | 15 | Angebotener Umfang und Ort der Erstschulung:Dauer: ______ Tage / Ort: [ ] Vor Ort (beim Kunden) / [ ] Online-Live |
| L15 | Lizenzmodell, Updates und Software-Upgrades 3P (Exzellent): Bereitstellung einer unbefristeten Vollli- zenz (Lifetime) ohne wiederkehrende Kosten, installierbar auf beliebig vielen PCs (Mehrplatzlizenz ohne USB- Dongle). Alle zukünftigen Software-Updates (Bugfixes) so- wie funktionserweiternde Software-Upgrades (neue Hauptversionen) sind dauerhaft und unbegrenzt kosten- frei enthalten. 2P (Gut): Unbefristete Lizenz für den Betrieb an der An- lage enthalten. Die Installation auf weiteren PCs zur Da- tenanalyse ist auf eine feste Anzahl limitiert oder an einen Hardware-Dongle gebunden. Kleinere Updates (Bugfixes) sind kostenfrei, größere Upgrades (neue Hauptversionen) sind jedoch nach einem bestimmten Zeitraum (z. B. nach 12 oder 24 Monaten) kostenpflichtig. 1P (Ausreichend): Restriktives Lizenzmodell (z. B. Bindung an nur einen PC via MAC-Adresse oder jährliche Abo-Ge- bühren). Sämtliche Updates und Upgrades sind ab dem Tag der Lieferung kostenpflichtig oder nur über einen se- paraten Wartungsvertrag erhältlich. | 10 | Art des Lizenzmodells und Up- grade-Kosten: Arbeitsplatzli- zenzen: [ ] Unbegrenzt / [ ] Limitiert auf ___ PCs Zukünftige Software-Upgra- des (Hauptversionen): [ ] Dauerhaft kostenfrei / [ ] Kostenpflichtig |
| Maximal erreichbare Gesamtleistungspunktzahl im Be- reich: Garantie / Support / Schulung | 70 |
reich: Garantie / Support / Schulung
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5. Zuschlagskriterien
5.1. Zuschlagskriterien und Gewichtung
Das wirtschaftlichste Angebot wird auf der Grundlage eines Punktesystems mit maximal 1.000 erreichbaren Punkten ermittelt. Dabei werden folgende Zuschlagskriterien einschließlich ihrer Gewichtung in Tabelle 5 berücksichtigt.
Tabelle 5: Zuschlagskriterien, Gewichtung und max. erreichbare Punktzahl
| Nr. | Zuschlagskriterium | Gewichtung (%) | Max. Punkte* |
|---|---|---|---|
| 1 | Preis | 30 | 300 |
| 2 | Leistungskriterien (gesamt) | 70 | 700 |
| 2.1 | – Hardware | 50 (von 70) | 350 |
| 2.2 | – Software, Regelung, Steuerung | 40 (von 70) | 280 |
| 2.3 | – Garantie, Support, Schulung | 10 (von 70) | 70 |
- 2D.3ie max–. Gerarreainchtibea, rSeunp Ppuonrtk,t Sec shinudlu anugs der Gesamtpunktz1a0h l( v1o.0n0 700 a)b geleitet. Die P7ro0z entangaben der Un- terkriterien (2.1–2.3) beziehen sich auf das Gesamtgewicht der Leistungskriterien (70 %).
5.2. Bewertungsmethodik und Berechnung der Gesamtpunktzahl
Die Zuschlagskriterien werden nach folgendem Verfahren bewertet:
Preis: Das Angebot mit dem niedrigsten Preis erhält die maximale Preispunktzahl (300 Punkte). Alle weiteren Angebote erhalten eine Preispunktzahl nach folgender Formel:
𝑃𝑃𝑚𝑚𝑚𝑚𝑚𝑚 wobei: 𝑃𝑃 = ×𝑃𝑃𝑚𝑚𝑚𝑚𝑚𝑚 𝑃𝑃𝐴𝐴𝑚𝑚𝐴𝐴𝐴𝐴𝐴𝐴𝐴𝐴𝐴𝐴 P… erreichte Preispunktzahl P … niedrigster Nettoangebotspreis aller Bieter min P … Nettopreis des Angebots Angebot P … max. erreichbare Preispunktzahl 300 Punkte max
Hinweis zur Preisbewertung: Für die Angebotswertung und die Ermittlung der Wertungspunktzahl im Zuschlagskriterium „Preis“ werden ausschließlich die Netto-Angebotspreise (ohne Umsatzsteuer) berücksichtigt. Alle Bieter sind verpflichtet, ihre Preise in Euro netto (ohne Umsatzsteuer) auszuweisen. Die Umsatzsteuer wird in der Angebotswertung nicht berücksichtigt und ist gesondert auszuweisen. Diese Regelung dient der Vergleichbarkeit der Angebote und entspricht den steuerlichen Rahmenbedingun- gen, da die ausschreibende Stelle zum Vorsteuerabzug berechtigt ist.
Leistungskriterien: Die Bewertung der Leistungskriterien erfolgt auf Grundlage der in den Wertungstabellen (Tabellen 2–4) be- schriebenen Einzelkriterien und Bewertungsskalen. Die maximal erreichbaren Punkte entsprechen der obi- gen Tabelle. Die Bieter haben sämtliche relevanten Nachweise und Angaben zu den Einzelkriterien in ihrem Angebot eindeutig zu referenzieren und nachvollziehbar zuzuordnen.
Die gesamte Leistungspunktzahl LP berechnet sich aus der Summe aller erreichten Leistungspunktzahlen je ges Kriterium (LP, siehe Abschnitt 6 Bewertungsmaßstab) mit folgender Formel i
m
𝐿𝐿𝑃𝑃𝐴𝐴𝐴𝐴𝑔𝑔 = �LPi n=1
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6. Bewertungsmatrix
Die Bewertungsmatrix, die als Anlage 2 beigefügt ist, bildet alle Ausschluss-, Leistungs- und Preiskriterien so- wie die Bewertungsmaßstäbe ab.
Bewertungsmaßstab: Für jedes Unterkriterium der Leistungskriterien können maximal 3 Punkte (Score = S) vergeben werden (vgl. i Tabellen 2-4): • Ausführung hervorragend = 3 Punkte • Ausführung gut = 2 Punkte • Ausführung ausreichend = 1 Punkt
Die erreichbare Leistungspunktzahl je Unterkriterium (LP) berechnet sich für jedes Angebot nach folgender i Formel:
wobei: 𝑆𝑆𝑚𝑚 𝐿𝐿𝑃𝑃𝑚𝑚 = ×𝐿𝐿𝑃𝑃𝑚𝑚𝑚𝑚𝑚𝑚,𝑚𝑚 • LP: erreichte Leistungspunktzahl für das i-te 3Unterkriterium i • S: erzielte Punktzahl (Score) gemäß Bewertungsmaßstab i • LP : maximal erreichbare Leistungspunkte für das Unterkriterium max,i
Die Summe der gewichteten Punktwerte aller Unterkriterien ergibt die Gesamtpunktzahl für das betreffende Hauptkriterium.
Tabelle 6: Beispielhafte Darstellung der Bewertungsmatrix (keine korrekten LP ) max,i
| Nr. | Zuschlagskrite- rium | Unterkriterium | LP max,i | Bewertungsmaßstab | Bewertungsformel für LP i |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Hardware | Technische Aus- führung | 80 | 1=ausreichend, 2=gut, 3=her- vorragend | (S /3)*80 1 |
| 2 | Hardware | Erweiterbarkeit | 70 | 1=ausreichend, 2=gut, 3=her- vorragend | (S /3)*70 2 |
| 3 | … | … | … | … | … |
| x | Software | Bedienkomfort | 60 | 1=ausreichend, 2=gut, 3=her- vorragend | (S /3)*60 x |
| y | Garantie/Sup- port | Reaktionszeit Ser- vice | 20 | 1=ausreichend, 2=gut, 3=her- vorragend | (S /3)*20 y |
port vice vorragend
7. Zuschlagsregelung
Der Zuschlag wird auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt.
Das wirtschaftlichste Angebot ist dasjenige, das unter Berücksichtigung aller Zuschlagskriterien die höchste Wertungspunktzahl (WP) erreicht und sämtliche Mindestanforderungen (Ausschlusskriterien) erfüllt.
Wertungspunktzahl-Berechnung (WP): Die Wertungspunktzahl (WP) eines Angebots ergibt sich aus der Summe der im Zuschlagskriterium „Preis“ (P) und in den „Leistungskriterien“ (LP ) erreichten Punkte. Für jedes Angebot gilt: ges
wobei: 𝑊𝑊𝑃𝑃 = 𝑃𝑃+𝐿𝐿𝑃𝑃𝐴𝐴𝐴𝐴𝑔𝑔
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WP… Wertungspunktzahl des Angebots P… im Zuschlagskriterium „Preis“ erreichte Punktzahl LP … insgesamt in den Leistungskriterien erreichte Leistungspunktzahl ges
Rangfolge: Nach Abschluss der Angebotswertung werden die zugelassenen Angebote anhand der erreichten Wertungs- punktzahl (WP) in eine Rangfolge gebracht. Das Angebot mit der höchsten Wertungspunktzahl belegt den ersten Rang, gefolgt von den nächstplatzierten Angeboten in absteigender Reihenfolge der erzielten Punkt- werte.
Wertungsgleichstand: Bei Punktgleichheit der Wertungspunkte WP erhält das Angebot mit dem niedrigeren Nettopreis den Zu- schlag. Sollte auch der Nettopreis identisch sein, entscheidet der längere Garantiezeitraum. Ist auch der Ga- rantiezeitraum gleich, entscheidet das Los.
8. Besondere Vertragsbedingungen zu Nutzung, Lieferung und Service
8.1. Demonstrations- und Referenzgerät
Der Auftraggeber kann dem Hersteller gestatten, das installierte System – nach vorheriger schriftlicher Zu- stimmung durch die zuständigen Gremien des Auftraggebers – als Demonstrations- und Referenzgerät zu nutzen. Dies umfasst die Möglichkeit, nach rechtzeitiger vorheriger Absprache mit dem Auftraggeber Besich- tigungen und Vorführungen der Anlage für potenzielle Kunden oder Kooperationspartner des Herstellers am Standort des Auftraggebers durchzuführen. Die Nutzung des Systems zu Demonstrations- und Referenzzwecken darf den regulären Lehr-, Forschungs- und Verwaltungsbetrieb des Auftraggebers zu keiner Zeit behindern oder einschränken.
8.2. Liefer- und Abnahmebedingungen
Der angebotene Endpreis umfasst die Lieferung DDP (Delivered Duty Paid) am Aufstellort (Abschnitt 1.5 Leis- tungsbeschreibung) gemäß INCOTERMS 2020, den vollständigen Aufbau und die betriebsbereite Inbetrieb- nahme des Systems am Aufstellort sowie eine Einweisung des Bedienpersonals durch fachkundiges Personal des Auftragnehmers. Die Einweisung muss sowohl die Bedienung des Systems als auch die regelmäßige War- tung umfassen.
Darüber hinaus ist der Nachweis der vollen Funktionalität als lokales Laserheizsystem mit Temperaturerfas- sung und -regelung vor Ort zu erbringen.
Folgende Abnahmeprozesse sind zur vollständigen Inbetriebnahme und Abnahme des Systems am Aufstell- ort zu demonstrieren und schriftlich zu protokollieren: • Demonstration der Temperaturleistung: Nachweis der proben- und probenhalterabhängig erreich- baren Maximaltemperaturen sowie der maximalen und minimalen Heiz- und Kühlraten am aufge- stellten Anwendergerät; Dokumentation der Messergebnisse und aller relevanten eingestellten Ge- räteparameter in einem Messprotokoll. • Demonstration der Pyrometerkalibration: Demonstration und Nachweis der Kalibration des Pyro- meters auf verschiedene Substrate. • Demonstration des Positionswechsels der Lasereinheit sowie des Probenmanipulators: Demonst- ration zum mechanischen Umbau und exakten Ausrichten der Lasereinheit sowie des Probenmani- pulators einschließlich Probenwechsel. Die Abnahme gilt erst nach erfolgreicher Durchführung und schriftlicher Dokumentation aller oben genann- ten Prozesse als erfolgt.
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8.3. Systemdokumentation
Bei Lieferung des Laser-Heizsystems ist folgende Dokumentation bereitzustellen: • Eine vollständige und verständliche Bedienungsanleitung für alle Systemkomponenten, • eine vollständige Bedienungsanleitung sowie umfassende Dokumentation zur eingesetzten System- software, • vollständige Bedienungs- und Wartungsanleitungen für sämtliche Subsysteme, • ein Wartungsplan, welcher die regelmäßig zu überprüfenden Systemkomponenten ausweist und ein- schließlich detaillierter Wartungsanleitungen bereitgestellt wird, • eine vollständige und aktuelle Ersatzteilliste mit Angabe der jeweiligen Bestellnummern.
Alle Dokumentationsunterlagen sind in deutscher oder englischer Sprache sowohl in gedruckter als auch in elektronischer Form (PDF) zu übergeben.
9. Preisliste
Die nachfolgende Preisliste ist vom Bieter vollständig auszufüllen und mit dem Angebot einzureichen. Es dient der eindeutigen Darstellung der angebotenen Leistung sowie der Preiskalkulation.
| Pos. | Menge | Einheit | Beschreibung | Einheitspreis | Gesamtpreis |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 1 | Stück | Laserheizsystem & Probenmanipulator | ||
| Gesamtpreis netto | |||||
| Nachlass | |||||
| Gesamtpreis nach Nachlass netto | |||||
| zzgl. 19 % MwSt. | |||||
| Gesamtpreis brutto |
Anlage(n):
- Anlage 1: Planungsstand Konstruktionszeichnung Implantationskammer (Anlage1_Cham- ber_DN200CF_19.09-beta2.pdf)
- Anlage 2: Bewertungsmatrix (Anlage2_Bewertungsmatrix.pdf)
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