Waferstepper und Coating Line für Halbleiterfertigung
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Deutschland · TED
- 12. Aug. 2026Bekanntmachung veröffentlichtQuelle: TED
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Zusammenfassung
Die Fraunhofer‑Gesellschaft beschafft einen Waferstepper (IPMS‑MRS16.1.1) und eine Coating Line (IPMS‑MRS16.1.2) für die Halbleiterproduktion. Die Beschaffung ist in zwei Lose aufgeteilt, jeweils ein Gerät, mit einer Vertragslaufzeit von 540 Tagen. Es handelt sich um Lieferungen von hochspezialisierten Anlagen, die im Rahmen von EU‑Fördermitteln finanziert werden. Der geschätzte Auftragswert ist nicht angegeben.
Vergabeunterlagen
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Vergabeunterlagen.pdf
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Leistungsverzeichnis.pdf
PDF-Dokument · 860 KB
Eigenerklärung.docx
Word-Dokument · 124 KB
Vergabeentscheid
Zuschlag erteilt
Auftragsgewinner: unbekannt
Auftragswert
unbekannt
Beschreibung
Waferstepper & coating line (IPMS-MRS16.1.1 + IPMS-MRS16.1.2)
Lose
2 LoseLos 1: Waferstepper
Los 2: Coating Line
Zuschlagskriterien
4 Kriterien- price35%
Preis
- quality65%
Teschnische Ausführung
- price35%
Preis
- quality65%
Teschnische Ausführung