Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart · Köln, Deutschland · TED
- 26. Aug. 2026Bekanntmachung veröffentlichtQuelle: TED
- 24. Aug. 2026Zuschlag erteiltZuschlag an SmarAct GmbH · €0k
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Zusammenfassung
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) in Stuttgart beschafft ein hochpräzises Positionierungssystem zur Erprobung von Magnetisierungskonzepten. Das System soll magnetische Schreibköpfe mit Mikrometergenauigkeit auf permanentmagnetischen Dünnfilmschichten positionieren und besteht aus einer XYR-Stage für laterale Bewegungen und Rotation sowie einer Z-Achse für vertikale Annäherung. Die Lieferung umfasst eine ausgerüstete Z-Achse sowie Aufnahmen für zwei weitere identische Schreibköpfe zur Nachrüstung, wobei jeder Kopf alle Positionen auf einem 150-mm-Wafer erreichen können muss.
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Vergabeentscheid
Zuschlag erteilt
Auftragsgewinner: SmarAct GmbH
Auftragswert
€0k
Zuschlag am
24. Aug. 2026
Beschreibung
Mit mikrometergenauer Positionierung von magnetischen Schreibköpfen sollen gezielt permanentmagnetische Dünnfilmschichten magnetisiert werden können. Zweck des Positionierungssystems ist dabei die Erprobung eines Magnetisierungskonzepts. Die mikrometergenaue relative Positionierung eines magnetischen Schreibkopfs auf den zu magnetisierenden Substraten soll in einem Gesamtsystem über eine XYR-Stage (laterale Translation sowie Rotation des Substrats) sowie Z-Achse (vertikale Translation) erfolgen (siehe Systemübersicht.pdf). Letztere wird oberhalb des Substrats an einer spezifizierten Traversen montiert, welche die Magnetisierungsköpfe aufnehmen kann. Sie dient zur vertikalen Annäherung im Submikrometerbereich sowie zur definierten Kontaktherstellung des Schreibkopfs mit dem Substrat, um Magnetisierungen durchzuführen. Beide Teilsysteme – XYR-Stage und Z-Achse – müssen derart aufeinander abgestimmt sein, dass sie die spezifizierte Positionierungspräzision im Gesamtsystem erreichen können und Trajektorienbewegungen ermöglichen. Neben einer ausgerüsteten Z-Achse sollen an der spezifizierten Traversen Aufnahmen für zwei weitere, identische Schreibköpfe für eine potenzielle Nachrüstung eingeplant und mitgeliefert werden. Die konstruierten, mechanischen Aufnahmen müssen so ausgelegt sein, dass jeder Schreibkopf jede Position auf einem 150 mm Wafer erreichen kann. Alle Rahmenbedingungen und Anforderungen der Teilsysteme sind nachfolgend spezifiziert und teilweise aus anhängigen Dokumenten zu entnehmen.
Lose
1 LosMit mikrometergenauer Positionierung von magnetischen Schreibköpfen sollen gezielt permanentmagnetische Dünnfilmschichten magnetisiert werden können. Zweck des Positionierungssystems ist dabei die Erprobung eines Magnetisierungskonzepts. Die mikrometergenaue relative Positionierung eines magnetischen Schreibkopfs auf den zu magnetisierenden Substraten soll in einem Gesamtsystem über eine XYR-Stage (laterale Translation sowie Rotation des Substrats) sowie Z-Achse (vertikale Translation) erfolgen (siehe Systemübersicht.pdf). Letztere wird oberhalb des Substrats an einer spezifizierten Traversen montiert, welche die Magnetisierungsköpfe aufnehmen kann. Sie dient zur vertikalen Annäherung im Submikrometerbereich sowie zur definierten Kontaktherstellung des Schreibkopfs mit dem Substrat, um Magnetisierungen durchzuführen. Beide Teilsysteme – XYR-Stage und Z-Achse – müssen derart aufeinander abgestimmt sein, dass sie die spezifizierte Positionierungspräzision im Gesamtsystem erreichen können und Trajektorienbewegungen ermöglichen. Neben einer ausgerüsteten Z-Achse sollen an der spezifizierten Traversen Aufnahmen für zwei weitere, identische Schreibköpfe für eine potenzielle Nachrüstung eingeplant und mitgeliefert werden. Die konstruierten, mechanischen Aufnahmen müssen so ausgelegt sein, dass jeder Schreibkopf jede Position auf einem 150 mm Wafer erreichen kann. Alle Rahmenbedingungen und Anforderungen der Teilsysteme sind nachfolgend spezifiziert und teilweise aus anhängigen Dokumenten zu entnehmen.
Zuschlagskriterien
3 Kriterien- price40%
Preis
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Wiederholbarkeit der Translationsbewegungen in Horizontalebene (X- und Y-Achse) Wiederholbarkeit der groben, vertikalen Translationsbewegung (Z-Achse) "Sphere of confusion": Toleranzbereich des Pivot-Punkts der Goniometer Wiederholbarkeit der Verkippungen/Neigungen (um X- und Y-Achse) Verwendung verschleißfreier Komponenten für adaptierbare Gewichtskompensation Verfügbarkeit eines Frameworks mit Einbindung von Python-Skripte zur Prozessentwicklung und Integration externer Komponenten
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Lieferzeit ab Bestelldatum Gewährleistung ab Lieferdatum Dauer der Verfügbarkeit von Ersatzteilen