Automatisches Wafer-Handlingsystem für Prozessüberwachung
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Erlangen, Deutschland · TED
- 26. Aug. 2026Bekanntmachung veröffentlichtQuelle: TED
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Zusammenfassung
Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. in Erlangen sucht ein automatisches Handlingsystem zur Nachrüstung ihres bestehenden Prozessüberwachungssystems mesc21-11 am Fraunhofer IPMS CNT. Das System soll Wafer aus SEMI-300-mm-Behältern automatisiert zur Messung transportieren und auch 200-mm-Wafer mit Adapter auf Standard-300-mm-Werkzeugen verarbeiten können. Die Beschaffung erfolgt im offenen Verfahren mit Gewichtung auf technische Qualität (65 %) und Preis (35 %).
Vergabeunterlagen
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Vergabeentscheid
Zuschlag erteilt
Auftragsgewinner: unbekannt
Auftragswert
unbekannt
Beschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Lose
1 LosUpgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Zuschlagskriterien
2 Kriterien- quality65%
Technische Ausführung/techninal specification
- price35%
Preis/price