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Zusammenfassung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Anschaffung einer Ätzanlage zum tiefen Silicium‑Ätzen für MEMS‑Technologien. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen eines wettbewerblichen Dialogs und umfasst Lieferung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage. Der Auftrag soll bis zum 14. September 2026 eingereicht werden. Der genaue Leistungsumfang und die technische Spezifikation sind in den Ausschreibungsunterlagen zu finden.
Vergabeunterlagen
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